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首昂光電(上海)有限公司
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更新時間:2024-10-25 23:20:32瀏覽次數(shù):50次
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1)采用紅外激光器
1)采用紅外激光器;
2)孔深比大,微孔圓度好;
3)光路固定,平臺移動,孔型一致性較好,垂直度好;
4)大理石基臺,穩(wěn)定可靠,熱變形小;
5)自動布孔,孔距可設(shè),精準全中文操作界面,操作直觀、簡易,界面良好;
6)采用閉環(huán)控制,精度高;
7)高可靠性和穩(wěn)定性;
8)真空吸附平臺;
9)導(dǎo)入DXF圖形,根據(jù)圖形要求打孔,操作簡便效率高;
設(shè)備型號 MSW-6212
激光波長 紅外,1064nm
激光功率 30w
加工晶圓尺寸 4寸
打點速度 300mm/s
劃線線寬 35~45μm
劃線線深 < 120μm(視材料而定)
系統(tǒng)定位精度 5μm
重復(fù)定位精度 2μm
激光器使用壽命 10 萬小時
機器外型尺寸 960*730*1740mm
整機重量 660kg
廣泛應(yīng)用于硅晶片,半導(dǎo)體晶圓,非晶薄膜等材料。
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