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顯定影機

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更新時間：2024-10-25 23:27:47瀏覽次數：25次

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產品簡介

產品介紹：1）控制系統由PLC觸摸屏構成，故障率低，可靠性強，操作簡單，易于維護

詳細介紹

產品介紹：

1）控制系統由PLC觸摸屏構成，故障率低，可靠性強，操作簡單，易于維護。

2）傳動方式通過皮帶傳片（86式），手臂傳片（88式）。

3）主軸使用高速伺服電機，帶數字顯示，精確控制轉速。

4）噴淋顯影兩路液罐，一路氮氣。也可由客戶工藝配置液路和氣路。


                 轉速                       6000RPM


                 轉速精準度                    ≤1-4%RPM


     勻膠     滴膠手臂控制                  步進馬達       


                 滴膠頭位置精準               ≤0.2mm


該設備為全自動上下料勻膠設備，主要應用于3-6寸晶圓噴淋顯影定影工藝，采用標準片盒收放片，自動運行。該設備為雙軌道形式。


關鍵詞：PLC 伺服電機
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