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雙軌自動涂源機

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更新時間:2024-10-25 23:07:58瀏覽次數:38次

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產品簡介

產品介紹:1)控制系統由PLC觸摸屏構成,故障率低,可靠性強,操作簡單,易于維護

詳細介紹

產品介紹:

1)控制系統由PLC觸摸屏構成,故障率低,可靠性強,操作簡單,易于維護。

2)傳片方式通過導軌絲桿傳動。

3)主軸使用伺服電機,RS485通訊精確控制轉速。

4)采用蠕動泵滴源,保證了定量滴乳膠源,可節省擴散源用量。

5)設置靈活,多功能。通過一鍵設置,可將自動涂源轉換為手動涂源。

7)熱板控溫方式為溫控表,自帶超溫保護系統,熱板均勻性好。熱板采用頂針升降,方便晶圓烘烤。


                    轉速                       5000RPM


                   轉速精準度                    ≤1-4%RPM


     涂源       滴膠手臂控制                  步進馬達       


                 滴膠頭位置精準                ≤0.2mm


該設備為全自動上下料涂源設備,主要應用于3-6寸晶圓涂源、烘干,采用標準片盒收放片,自動運行。該設備為雙軌道形式,上料、涂源、烘干、取料。

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