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首昂光電（上海）有限公司


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晶圓打碼機

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品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海市

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更新時間：2024-10-25 23:06:17瀏覽次數：38次

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經營模式：其他

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產品簡介

1）專業化的晶圓激光刻號打碼專用設備，適用于4-5-6英寸晶圓的軟打標、硬打標作業

詳細介紹

1）專業化的晶圓激光刻號打碼專用設備，適用于4-5-6英寸晶圓的軟打標、硬打標作業。

2）支持OCR字符和點陣字符，適用于Si,GaAs,Ge,SiC,GaP,InP,Sapphire,Quartz等的軟打標、硬打標。

3)全自動生產可加工2"- 6"、4"- 8"、8“- 12"晶圓；

4)工業級激光器、穩定可靠、免維護；

5)光束質量好、標識精細、可讀性好；

6)操作界面友好、使用方便、無需外接冷水機；

7）自動取放料，雙臂模式提高工作效率，自動找晶圓中心，自動巡邊。


技術規格                     項目                    單位                  數值

加工尺寸            晶圓尺寸                inch                6英寸

激光器功率             激光器出口處             w                   20瓦

激光器波長           紅外光纖激光器           nm              1064納米


                               定位精度                 mm                0.05毫米       

                               重復精度                 mm                0.02毫米  

   振鏡                  掃描速度             mm/s            7000毫米/秒

                              振鏡類型             數字/模擬       高速數字式振鏡

協作機械手              取料手臂                數量                    2個

                               負載                  kg                    1千克

                               臂長                 mm                 340mm

                               重復精度                 mm               正負0.5mm

                               Z向行程                   mm                 145mm

                               電源                         AC     兩相220~240V   50HZ

                             耗電量                KW                   1.5kw

                              單獨接地電阻             Ω                    小于4歐

                              共用接地電阻             Ω                    小于1歐

其他規格                 壓縮空氣供給壓力     MPa              0.5~0.8mpa

                               廠務真空供給           KPa                  -0.6kpa

                               排風口口徑               mm                   50mm


4-5-6英寸晶圓的軟打標、硬打標。

適用于Si,GaAs,Ge,SiC,GaP,InP,Sapphire,Quartz等的刻號、打碼。


關鍵詞：機械手
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