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深圳市煒安達(dá)研磨設(shè)備有限公司


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雙面拋光機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地深圳市

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:21條

所在地區(qū):廣東深圳市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

本機(jī)主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體及其它半導(dǎo)體材料的雙面高精度研磨或拋光,也適用于其它金屬、非金屬、光學(xué)玻璃、藍(lán)寶石等硬、脆、薄材料的雙面高精度研磨或拋光。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳情

  設(shè)備簡(jiǎn)介:

  本機(jī)主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體及其它半導(dǎo)體材料的雙面高精度研磨或拋光,也適用于其它金屬、非金屬、光學(xué)玻璃、藍(lán)寶石等硬、脆、薄材料的雙面高精度研磨或拋光。

 

  設(shè)備特點(diǎn):

  1.機(jī)身結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì),機(jī)架采用龍門式結(jié)構(gòu),剛性好,承壓能力強(qiáng),能滿足高負(fù)載下高速穩(wěn)定運(yùn)行。

  2.下盤、上盤和太陽(yáng)輪分別由電機(jī)單獨(dú)驅(qū)動(dòng),電機(jī)均采用變頻電機(jī)且使用變頻調(diào)速器控制,能在有效設(shè)置范圍內(nèi)以任意速度工作,實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)的停止、加速、減速及換向,能有效的防止薄脆工件破碎。

  3.游星輪傳動(dòng)采用柱銷齒結(jié)構(gòu),傳動(dòng)平穩(wěn)無(wú)沖擊,游星輪使用壽命長(zhǎng)。柱銷齒采用銷套結(jié)構(gòu),銷套用不銹鋼材料經(jīng)熱處理加硬,防銹耐磨,柱銷齒磨損后只需更換銷套,方便簡(jiǎn)單,使用成本低。

  4.上盤下降過(guò)程中,設(shè)置了快降和緩降,緩降行程在氣缸行程范圍內(nèi)可調(diào),緩降速度也可根據(jù)工件抗沖擊程度自由調(diào)整。

  5.本機(jī)通過(guò)精密電氣比例閥調(diào)整控制加工壓力,可根據(jù)不同加工工藝要求,設(shè)定加工壓力,壓力控制精度高。

  6.采用的PLC系統(tǒng),觸摸屏操作面板,所有工藝參數(shù)及工藝配方可在觸摸屏上進(jìn)行修改設(shè)置,可根據(jù)設(shè)定好的工藝參數(shù)自動(dòng)完成整個(gè)加工過(guò)程。

  7.上盤升降設(shè)計(jì)安全裝置,在上盤升到頂時(shí)能有效的保護(hù)上盤不突然落下。

  8.一體式,模塊化設(shè)計(jì)理念:將原來(lái)三臺(tái)減速機(jī)集成到一臺(tái)主機(jī)內(nèi),提高了減速機(jī)的剛性,減速機(jī)模組和磨盤模組可各自裝配好后再整體裝配,提高了裝配效率,使維護(hù)更加方便快捷。

 

  主要技術(shù)參數(shù):

序號(hào)

項(xiàng)目

規(guī)格參數(shù)

1

上研磨盤尺寸

Ø1188×Ø360×50(mm)

2

下研磨盤尺寸

Ø1188×Ø360×50(mm)

3

游星輪參數(shù)

柱銷齒   柱銷直徑Ø10  節(jié)距19.3    齒數(shù)52

4

游星輪數(shù)量

5

5

工件尺寸

Ø370(mm)

6

工件厚度

0.3-30(mm)

7

下研磨盤轉(zhuǎn)速

0-50(rmp)

8

加工壓力

600Kg

9

主氣缸

160×500

10

主電機(jī)

 7.5Kw

11

上盤電機(jī)

 7.5Kw

12

副電機(jī)

 2.2Kw

13

設(shè)備總功率

18Kw

14

外形尺寸

1900×1480×2700(mm)

15

設(shè)備質(zhì)量

≈4500Kg

 

  安裝條件:

序號(hào)

項(xiàng)目

指標(biāo)要求

1

環(huán)境

室內(nèi)地面平坦、無(wú)振動(dòng)源

2

水源

純水或自來(lái)水

3

電源

三相五線 380V

4

壓縮氣源

0.6~0.8Mpa

5

溫度

0℃-45℃

6

對(duì)濕度

≤95%

 

   主要配置:

序號(hào)

項(xiàng)目

品牌

1

氣缸

亞德客

2

減速器

整體式變速箱

3

軸承

哈、瓦、洛

4

可編程控制器〔PLC〕

臺(tái)達(dá)

5

人機(jī)界面

威能

6

精密電氣比例閥

亞德客

7

電磁閥

亞德客

8

變頻器

丹佛斯

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