FCL-200是一款專為控制液體流量而研發的液體流量控制器，接液部分均采用聚四氟乙烯材質，用于純水條件下半導體工藝流程中流體的控制以及醫藥、食品相關方面的液體控制等。
- 接液部分均采用聚四氟乙烯材質，可將純凈的流體控制在一定流量范圍內
- 采用專用新型閥門結構，幾乎不會產生粒子
- 高溫型可在80℃下進行控制
- 可通過RS232C進行通信操作
標準規格
| 使用流體 | 水、純水、超純水（其他液體請咨詢） | |||||
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| 流量范圍 | 0.4～2.0L/min（工作壓差150kPa以上） | |||||
| 允許工作流體溫度 | 10～35℃（常溫）（可選：10～80℃） | |||||
| 測定精度 | ±1%F.S.（at25℃純水校準） | |||||
| 重現性 | ±0.7%F.S.（at25℃純水校準） | |||||
| 響應速度 | 閥門關閉→99%F.S.：2秒以內、99%F.S.→閥門關閉：2秒以內（at25℃純水，壓差＝150kPa條件下） | |||||
| 接液部分材質 | PTTA,PFA | |||||
| 供應壓力 | 0.15～0.35MPa（泵脈動±50kPa以下） | |||||
| 耐壓 | 0.6MPa（at25℃） | |||||
| 工藝連接件 | 3/8英寸（φ9.52×6.35） 日本支柱工業SUPER 300 Ptype接頭 | |||||
| 專用電源電纜長度 | 3m | |||||
| 電纜外皮 | PVC | |||||
| 結構 | 與IP64同等（電裝部分） | |||||
| 閥門結構 | 常開型 | |||||
| 允許周圍溫度 | 0?50℃ | |||||
| 環境濕度 | 10～85%RH（無結露） | |||||
| 安裝方向 | 自由（建議水平設置） | |||||
| 重量 | 約1.3kg | |||||
注意
本產品無法斷開。
如需斷開請在前端安裝斷開專用閥門。
請在本機前端安裝過濾器等，避免混入異物。
使用流體中混入的氣泡量超過5%時，輸出流量精度可能會出現異常，請注意。
本規格可能會在未經通知的情況下發生變更。
電氣規格
| 測定方式 | 卡門旋渦式 | |||||
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| 輸入信號 | 4-20mA（0-2L/min） | |||||
| 輸出信號 | 4-20mA（0-2L/min） | |||||
| 電源 | DC24V±5% | |||||
| 電源電壓波動 | ±10%以內 | |||||
| 消耗電流 | 約200mA | |||||
| 通信功能（可選） | RS232C（電纜3m） | |||||
外形圖
使用示例
專用電源電纜3m（線路布置）
