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輪廓度儀Mahr XC20

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更新時間:2024-12-20 16:35:58瀏覽次數(shù):29次

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產(chǎn)品簡介

MarSurfXC20技術(shù)特征:PCV200驅(qū)動器具有200mm(7.87in)的測量長度及50mm(1.97in)的行程,與MarSurfXC2比較提供更多的功能包括:測量段:顯示的測量段無數(shù)量限制,每個測量段在記錄中都彼此獨(dú)立

詳細(xì)介紹

MarSurf XC 20技術(shù)特征:PCV 200 驅(qū)動器具有200 mm (7.87in) 的測量長度及50 mm(1.97 in) 的行程, 與 MarSurf XC 2 比較提供更多的功能 
包括: 
     測量段:顯示的測量段無數(shù)量限制, 每個測量段在記錄中都彼此獨(dú)立。
     使用雙測頭:進(jìn)行測量利用雙測頭可以對反向輪廓進(jìn)行測量, 例如既要求測量孔內(nèi)也要求測量外部參數(shù)的情況。在 XC 20 軟件中, 兩個相對輪廓都可以按標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行評定, 及對兩個輪廓相關(guān)的參數(shù)進(jìn)行計算。
技術(shù)數(shù)據(jù)
驅(qū)動單元  PCV 200 / LD 120
掃瞄長度 (X方向) 0.2 mm 至 200 mm (0.0079 in 至 7.87 in)
測量范圍 (Z方向) 50 mm (1.97 in) , 適用于350 mm (13.78 in) 測臂
                 25 mm (0.98 in) , 適用于 175 mm (6.89 in) 測臂
測量系統(tǒng) (X方向) 高精度光柵測量系統(tǒng)(出廠經(jīng)激光干涉儀校準(zhǔn))
測量系統(tǒng) (Z方向) 電感傳感器*, 高精度, 高線性度
測針分辨率( Z方向) 0.38 μm (15 μin), 適用于350 mm (13.78 in) 測臂
                   0.19 μm (7.5 μin), 適用于175 mm (6.89 in) 測臂測
測點(diǎn)距離 (X方向) 1.0 μm 至 8.0 μm (40 μin 至 315 μin)
測量系統(tǒng)分辨率( Z方向) 0.04 μm (1.6 μin)
行程偏差 < 1 μm (40 μin) (在120 mm (4.72 in)全行程內(nèi))
測力 (Z方向) 1 mN 至 120 mN, 向下和向上
(可在 MarSurf XC 20 設(shè)定)
行程升角 在光滑表面, 取決于表面傾斜程度:
向下降低時不超過 88°, 向上上升時不超過77°


接觸速度(Z 方向)
0.1 至 1 mm/s
測桿長度
175 mm, 350 mm
測量速度(文本)
0.2 mm/s 至 4 mm/s
針尖半徑
25 µm
掃描長度末尾(X 方向)
200 mm
分辨率
Z 方向,相對探針針頭:0.38 µm(350 mm 測桿)/ 0.19 µm(175 mm 測桿)
在 Z 方向,相對于測量系統(tǒng):0.04 µm
掃描長度開始(X 方向)
0.2 mm
取樣角
在平滑表面上,取決于偏差:后緣高至 88°,前緣高至 77°
定位速度(文本)
X 方向返回速度:0.2 至 8 mm/s
Z 方向:0.2 至 10 mm/s
導(dǎo)塊偏差
< 1 µm(200 mm 以上)
測量范圍 mm
(Z 方向)50 mm
掃描長度(文本)
0.2 mm 至 200 mm
測量力 (N)
1 mN 至 120 mN,以下和以上(可在 MarSurf XC 20 中設(shè)置)

關(guān)鍵詞:PC 傳感器
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