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脆性材料皮秒激光切割設(shè)備

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更新時間：2024-12-11 09:27:27瀏覽次數(shù)：12次

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深圳市韻騰激光科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

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韻騰激光的產(chǎn)品品質(zhì)行業(yè)，歡迎來公司實地參觀考察！多家企業(yè)激光品牌，多家企業(yè)共同見證。

行業(yè)應(yīng)用：

藍寶石&玻璃蓋板、光學(xué)玻璃、半導(dǎo)體封裝芯片、藍寶石&硅晶圓&陶瓷基板等脆性材料，熱敏感的高分子&無機材料，微細鉆孔，切割。

具體應(yīng)用比如：

1、手機蓋板和光學(xué)鏡頭外形切割

2、指紋識別芯片切割

3、光學(xué)鏡片外形切割

4、液晶面板切割

5、有機&無機材料的新型柔性顯示或微細電子電路蝕刻&切割。

機器優(yōu)點：

1、韻騰激光的設(shè)備采用皮秒或者飛秒激光器，超短脈沖加工無熱傳導(dǎo)，適于任意有機&無機材料的高速切割與鉆孔,最小10μm的崩邊和熱影響區(qū)。

2、采用單激光器雙光路分光技術(shù),雙激光頭加工，效率提升一倍。

3、CCD視覺預(yù)掃描&自動抓靶定位、加工范圍650mm×450mm、XY平臺拼接精度≤±3μm。

4、支持多種視覺定位特征，如十字、實心圓、空心圓、L型直角邊、影像特征點等。

5、自動清洗、視覺檢測分揀、自動上下料。

6、6年激光微細加工系統(tǒng)研發(fā)設(shè)計技術(shù)積淀、性能穩(wěn)定、無耗材。

皮秒激光表面消融切割原理：

高峰值功率激光束在掃描振鏡的移動反射下經(jīng)平場掃描物鏡聚焦在脆性材料表面，掃描振鏡控制激光束進行多次重復(fù)轉(zhuǎn)圈運動，逐漸燒蝕材料表面，材料被高密度峰值功率激光瞬間加熱迅速升高至等離子體氣化溫度，使得材料逐漸被激光燒蝕并以氣體的形式從材料表面逸出，從而實現(xiàn)材料的切透分離。

技術(shù)規(guī)格參數(shù)

序號	項目	技術(shù)參數(shù)
光學(xué)單元
1	激光器類型	355、532、1064nm可選
2	冷卻方式	恒溫水冷
3	激光功率	10~100W
4	光束質(zhì)量	M2<1.3
5	聚焦方式&加工頭數(shù)	平場聚焦鏡&雙頭
6	最小聚焦光斑直徑	Ф15μm
激光加工性能
7	加工速度	100~1500mm/s可調(diào)
8	最小崩邊	15μm
9	加工材料厚度	1mm
10	加工尺寸&精度	250mm×250mm，±5μm
機械單元
11	機床結(jié)構(gòu)	龍門式
12	機床運動軸數(shù)&種類	最多8軸, X，Y, Z, &θ軸
13	平臺行程&速度	650mm×450mm
13	平臺行程&速度	800mm/s
14	運動平臺重復(fù)精度	≤±1μm
15	運動平臺定位精度	≤±3μm
軟件控制單元
16	激光加工&平臺控制	Strongsoft, Strongsmart
17	加工文件導(dǎo)入格式	Dxf, Plt, DWG, Gebar
18	CCD視覺定位軟件	AISYS Vision
19	CCD視覺定位精度	≤±3μm
電器單元
20	PLC控制器	Panasonic
21	真空系統(tǒng)	真空發(fā)生器
22	除塵&集塵系統(tǒng)	三相電風機
自動化單元
23	自動上下料系統(tǒng)	XZ軸+可移動上下料平臺
安裝環(huán)境
24	整機供電&穩(wěn)壓器功率	220V380V,5KW
25	壓縮空氣壓強	≥0.6MPa
26	無塵室等級	10000
27	地面承重	2T/m2
28	保護氮氣	高純氮