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產(chǎn)品型號EVB
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地
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更新時間:2023-11-15 20:57:41瀏覽次數(shù):125次
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【停產(chǎn)產(chǎn)品】代替產(chǎn)品:IAVB系列通過馬達(dá)驅(qū)動調(diào)整閥的開度,實現(xiàn)了多種導(dǎo)率的電動真空閥。行業(yè)半導(dǎo)體制造工序(前工序)半導(dǎo)體制造工序(后工序)
【馬達(dá)驅(qū)動,30點(diǎn)開度設(shè)定】
根據(jù)外部信號通過馬達(dá)驅(qū)動調(diào)整開度。
最小間距0.15mm(NW25時)。
簡易的導(dǎo)率可變系統(tǒng)及真空控制的自動化。
【開度監(jiān)視功能、各種信號輸出功能】
內(nèi)置編碼器,可監(jiān)視當(dāng)前開度。
具備閥開、閥閉狀態(tài)的動作完成信號、報警輸出功能,使用更放心。
型號 | 名稱 | 配管方式 | 備注 |
---|---|---|---|
EVB※17 | 電動真空閥 | NW25, 40, 50 | 2021年03月31日 銷售中止舊的目錄 |
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