EH 機械增壓泵

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更新時間：2023-11-08 17:30:20瀏覽次數：129次

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產品簡介

EH 機械增壓泵Edwards EH 機械增壓泵采用的液力驅動，可實現高效的動力傳送，在經濟性、性能和緊湊性方面擁有優勢。這些增壓泵適用于高壓力差的場合，這種高壓力差使增壓泵可以與前級泵同時啟動，從而減少總體抽氣時間市場價： 0.00價格：0.00型號： EH250 EH500 EH1200 ......

詳細介紹

Edwards EH 機械增壓泵采用的液力驅動，可實現高效的動力傳送，在經濟性、性能和緊湊性方面擁有優勢。這些增壓泵適用于高壓力差的場合，這種高壓力差使增壓泵可以與前級泵同時啟動，從而減少總體抽氣時間

概述

EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠。

應用

半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光

功能和優勢

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。

它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。

EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：

安靜的無振動運行。

牢靠且防腐蝕。

*的軸封技術，處理艙中不會出現油污染

防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到。

軸封的設計經過優化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小，而這些特點正是*技術設備的制造商所需要的。

技術參數：

型號	EH250	EH500	EH1200	EH2600	EH4200
排量（工作容積）	310 m³h^-1/ 185 ft³min^-1	505 m³h^-1/ 300 ft³min^-1	1195 m³h^-1/ 715 ft³min^-1	2590 m³h^-1/ 1525 ft³min^-1	4140 m³h^-1/ 2440 ft³min^-1
使用前級泵時的有效抽速	240 m³h^-1/ 141 ft³min^-1	350 m³h^-1/ 206 ft³min^-1	840 m³h^-1/ 495 ft³min^-1	1750 m³h^-1/ 1031 ft³min^-1	3100 m³h^-1/ 1825 ft³min^-1
泵的壓力差	0-180 mbar/0-140 Torr	0-110 mbar/0-83 Torr	0-90 mbar/0-68 Torr	0-80 mbar/0-60 Torr	0-60 mbar / 0-45 Torr
進氣口連接	ISO63	ISO100	ISO160	ISO160	ISO250
出口連接	ISO40	ISO63	ISO100	ISO100	ISO100
轉速	0-2900 rpm	0-2900 rpm	0-2900 rpm	0-2900 rpm	0-2900 rpm
連續進氣口工作壓力	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr
出口壓力	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr
推薦的前級泵	GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80	GV80，E2M80	GV160、GV250、	GV250、GV400、	GV400、E2M275
推薦的前級泵	GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80	GV80，E2M80	E2M80、E2M175	E2M175、E2M275	GV400、E2M275
電機功率
碳氫化合物	2.2 kW / 3 hp	2.2 kW/3 hp	3 kW/4 hp	11 kW/15 hp	11 kW/15 hp
PFPE	1.5 kW / 2 hp	1.5 kW/2 hp	3 kW/4 hp	7.5 kW/10 hp	11 kW/15 hp
ATEX	2.2 kW	2.2 kW	3 kW	11 kW	11 kW
防爆	3 hp	3 hp	4 hp	15 hp	15 hp
環境溫度范圍
工作	5至40°C/40至104°F	5至40°C/40至104°F	5至40°C/40至104°F	5至40°C/40至104°F	5至40°C/40至104°F
存儲	-10至80°C/14至176°F	-10至80°C/14至176°F	-10至80°C/14至176°F	-10至80°C/14至176°F	-10至80°C/14至176°F
工作濕度	90% RH	90% RH	90% RH	90% RH	90% RH
推薦用油	Ultragrade 20	Ultragrade 20	Ultragrade 20	Ultragrade 20	Ultragrade 20
油容量
齒輪箱			1.25 l/1.3 qt	3.5 l/3.3 qt	3.5 l/3.3 qt
聯軸器蓋	1.5 l/1.6 qt	1.5 l/1.6 qt	1.5 l/1.6 qt	6.5 l/7 qt	6.5 l/7 qt
軸封儲油器	0.125 l/0.25 qt	0.125 l/0.25 qt	0.125 l/0.25 qt	1.5 l/1.4 qt	1.5 l/1.4 qt
重量	61 kg/134 lb	74 kg/163 lb	74 kg/163 lb	308 kg/679 lb