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日本電子JSM-7200F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

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日本電子JSM-7200F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

詳細(xì)介紹

JSM-7200F的電子光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)用了日本電子旗艦機(jī)-JSM-7800F Prime采用的浸沒(méi)式肖特基電子槍技術(shù),標(biāo)配TTLS系統(tǒng)(Through-The-Lens System),無(wú)論是在高/低加速電壓下,空間分辨率都比傳統(tǒng)機(jī)型有了很大的提升。此外,保證300nA的束流,能兼顧高分辨率觀察和高通量分析,具有充實(shí)的自動(dòng)功能和易用性,是新一代的多功能場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡。
<特點(diǎn)>
JSM-7200F的主要特點(diǎn)有:應(yīng)用了浸沒(méi)式肖特基電子槍技術(shù)的電子光學(xué)系統(tǒng);利用GB(Gentle Beam 模式)和各種檢測(cè)器在低加速電壓下能進(jìn)行高分辨觀察和選擇信號(hào)的TTLS系統(tǒng)(Through-The-Lens System);電磁場(chǎng)疊加的混合式物鏡。
浸沒(méi)式肖特基電子槍
浸沒(méi)式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍為日本電子的技術(shù),通過(guò)對(duì)電子槍和低像差聚光鏡進(jìn)行優(yōu)化,能有效利用從電子槍中發(fā)射的電子,即使電子束流很大也能獲得很細(xì)的束斑。因而可以實(shí)現(xiàn)高通量分析(EDS、WDS面分析、EBSD分析等)。
TTLS(through-the-lens系統(tǒng))
TTLS(through-the-lens系統(tǒng))是利用GB(Gentle Beam 模式)在低加速電壓下能進(jìn)行高分辨率觀察和信號(hào)選擇的系統(tǒng)。 利用GB(Gentle Beam 模式)通過(guò)給樣品加以偏壓,對(duì)入射電子有減速、對(duì)樣品中發(fā)射出的電子有加速作用,即使在低加速電壓(入射電壓)下,也能獲得信噪比良好的高分辨率圖像。
此外,利用安裝在TTLS的能量過(guò)濾器過(guò)濾電壓,可以調(diào)節(jié)二次電子的檢測(cè)量。這樣在極低加速電壓的條件下,用高位檢測(cè)器(UED)就可以只獲取來(lái)自樣品淺表面的大角度背散射電子。因過(guò)濾電壓用UED沒(méi)有檢測(cè)出的低能量電子,可以用高位二次電子檢測(cè)器(USD,選配件)檢測(cè)出來(lái),因此JSM-7200F能同時(shí)獲取二次電子像和背散射電子像。
混合式物鏡(電磁場(chǎng)疊加)
JSM-7200F的物鏡采用了本公司新開(kāi)發(fā)的混合式透鏡。
這種混合式透鏡是組合了磁透鏡和靜電透鏡的電磁場(chǎng)疊加型物鏡,比傳統(tǒng)的out-lens像差小,能獲得更高的空間分辨率。 JSM-7200F仍然保持了out-lens的易用性,所以可以觀察和分析磁性材料樣品。


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