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上海繪吉電子科技有限公司
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更新時間:2022-09-14 09:38:45瀏覽次數(shù):257次
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Apreo場發(fā)射掃描電子顯微鏡
Apreo
功能豐富的高性能 SEM
Apreo 復(fù)合透鏡結(jié)合了靜電和磁浸沒技術(shù),可產(chǎn)生的高分辨率和材料對比度。
Apreo 是研究納米顆粒、催化劑、粉末和納米器件的理想平臺,而不會降低磁性樣品性能。傳統(tǒng)的高分辨率 SEM 透鏡技術(shù)分為兩類:磁浸沒或靜電。FEI 將兩種技術(shù)結(jié)合到一個儀器中。這樣做所產(chǎn)生的成效遠遠超過任一種鏡筒的個體性能。兩種技術(shù)均使電子束形成細小探針,以提高低電壓下的分辨率,并使信號電子進入鏡筒。通過將磁透鏡和靜電透鏡組合成一個復(fù)合透鏡,不但提高了分辨率,還增加了的信號過濾選項。靜電-磁復(fù)合末級透鏡在 1 kV 電壓下的分辨率為 1.0 nm(無電子束減速或單色器)。
Apreo 擁有透鏡內(nèi)背散射探測器 T1,其位置緊靠樣品以便盡可能多地收集信號,從而確保在很短的時間內(nèi)采集數(shù)據(jù)。與其他背散射探測器不同,這種快速的探測器始終可保證良好的材料對比度,在導(dǎo)航時、傾斜時或工作距離很短時也不例外。在敏感樣品上,探測器的價值凸現(xiàn)出來,即使電流低至幾 pA,它也能提供清晰的背散射圖像。復(fù)合末級透鏡通過能量過濾實現(xiàn)更準確的材料對比度以及絕緣樣品的無電荷成像,進一步延伸了 T1 BSE 探測器的潛在價值。它還提供了流行選項來補充其探測能力,例如定向背散射探測器(DBS)、STEM 3+ 和低真空氣體分析探測器 (GAD)。所有這些探測器都擁有無二的軟件控制分割功能,以便根據(jù)需求選擇價值的樣品信息。
每個 Apreo 都按標準配備各種用以處理絕緣樣品的策略,包括:高真空技術(shù),例如 SmartSCAN™、漂移補償幀積分(DCFI) 和電荷過濾。對于挑戰(zhàn)性的應(yīng)用,Apreo 可提供電荷緩解策略。其中包括可選的低真空(為 500 Pa)策略,通過經(jīng)現(xiàn)場驗證的穿鏡式差分抽氣機構(gòu)和專用低真空探測器,不但可以緩解任何樣品上的電荷,還能提供的分辨率和較大的分析電流。
隨著分析技術(shù)的使用越來越常規(guī)化,Apreo 倉室經(jīng)過全新設(shè)計,以便更好地支持不同的配件和實驗。倉室最多容納三個 EDS/WDS 端口,可實現(xiàn)快速敏感的 X 射線測量、共面EDS/EBSD/TKD 排列并與(冷凍)CL、拉曼、EBIC 和其他技術(shù)兼容。
所有這些功能都能通過簡單的樣品處理和熟悉的 xT UI 獲得,節(jié)省了新用戶和專家級用戶的時間。可自定義的用戶界面提供了諸多用戶指導(dǎo)、自動化和遠程操作選項。
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