等離子體清洗技術(shù)的特點(diǎn)是不分處理對象的基材類型，均可進(jìn)行處理，對玻璃、金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。 等離子體的”活性”組分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。
采用第2、3代技術(shù)的等離子清洗機(jī)（第1代是壓縮空氣,第2代是氮?dú)猓?代是氬氣），在3種大氣等離子清洗機(jī)中清洗能力，清洗效果與真空等離子清洗機(jī)相當(dāng),行業(yè)內(nèi)稱為大氣清洗機(jī)。
氬氣的不掉渣、不產(chǎn)生靜電、清洗；氮?dú)獾氖褂梅奖恪⑶逑葱Ч茫?br> 氬氣38℃的超低溫等離子火焰，熱損傷最小，對OLED顯示屏及芯片無損傷，不會引起顯示屏發(fā)；氮?dú)?5℃等離子火焰；
氬氣產(chǎn)生等離子的電源電壓是300V, 低電壓不會損傷清洗基材、導(dǎo)電膜，氮?dú)怆妷菏?0000V,高壓清洗使基材表面散落下顆粒；
生產(chǎn)速度快，生產(chǎn)速度與機(jī)器皮帶速度及等離子頭數(shù)量有關(guān)。

 

技術(shù)參數(shù)：