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昆山獨(dú)角獸機(jī)器人有限公司


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川崎 NT620 工作范圍:1280mm

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地蘇州市

塑料機(jī)械網(wǎng)采購部電話:0571-88918531QQ:2568841715

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更新時(shí)間:2024-12-19 20:17:28瀏覽次數(shù):16次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:253條

所在地區(qū):江蘇蘇州市

聯(lián)系人:別軍義

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

川崎 NT620 工作范圍:1280mm

詳細(xì)介紹


NT系列機(jī)器人:

NT410 / NT510 單手臂
NT420 / NT520 雙手臂
NT620懸掛式安裝,雙手臂

應(yīng)用:

  • 無塵室

無塵機(jī)器人外設(shè):

  • 抓手
  • 校準(zhǔn)器NS004
的伸展距離單個(gè)的NT系列手臂可以伸展到四個(gè)FOUP。選配的線性軸可以增加FOUP多到五個(gè)。高吞吐量標(biāo)準(zhǔn)NT機(jī)器人的吞吐量是用校準(zhǔn)器280晶圓每小時(shí)(WPH)與不用校準(zhǔn)器400WPH。可用選配的抓手,增加吞吐量到700WPH。SEMI F47合規(guī)NT型號(hào)可以瞬時(shí)響應(yīng)電波動(dòng),如電壓下降,并且在電壓恢復(fù)時(shí)自動(dòng)恢復(fù)運(yùn)行。SEMI S2合規(guī)NT型號(hào)可以滿足對(duì)環(huán)境和人身安全的特殊考慮。碰撞檢測(cè)軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測(cè)功能,以減少碰撞所造成精密、專用設(shè)備的損壞。懸掛式安裝NT620型號(hào)具有吊裝規(guī)格設(shè)計(jì),用于在化學(xué)液體環(huán)境中使用,同時(shí)滿足ISO1級(jí)的要求。

應(yīng)用范例

NT系列寬廣的運(yùn)動(dòng)范圍使其能夠訪問主室,而不需要一個(gè)梭子或額外的機(jī)器人。

布局范例

一個(gè)單個(gè)的NT系列機(jī)器人能夠不使用軌道而只用2到4個(gè)FOUP就訪問所有的EFEM。

NT系列機(jī)器人規(guī)格

型號(hào) NT410 NT420 NT510 NT520 NT620
構(gòu)造 水平多關(guān)節(jié)型
自由度 4 軸 5 軸 4 軸 5 軸 5 軸
運(yùn)動(dòng)范圍 θ1 軸
(旋轉(zhuǎn)JT2)
340° 340° 340° 340° 340°
Z 軸
(上下JT3)
400 mm 400 mm 470 mm 470 mm 600 mm
θ2 軸
(旋轉(zhuǎn)JT4)
340° 340° 340° 340° 340°
H1 軸
(旋轉(zhuǎn)JT6)
340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2
H2 軸
(旋轉(zhuǎn)JT7)
- 340° - 380° 380°
大伸展距離 1,230 mm 1,280 mm 1,230 mm 1,280 mm 1,250.7 mm
重復(fù)性 ± 0.1 mm (晶圓中心)
無塵度*1 ISO 1級(jí)
控制柜 D60/D61 (規(guī)格見無塵控制柜)

*1: 于川崎的無塵間內(nèi)測(cè)得

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