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昆山獨(dú)角獸機(jī)器人有限公司
參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地蘇州市
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更新時(shí)間:2024-12-19 20:17:28瀏覽次數(shù):16次
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川崎 NT620 工作范圍:1280mm
NT410 / NT510 單手臂
NT420 / NT520 雙手臂
NT620懸掛式安裝,雙手臂
NT系列寬廣的運(yùn)動(dòng)范圍使其能夠訪問主室,而不需要一個(gè)梭子或額外的機(jī)器人。
一個(gè)單個(gè)的NT系列機(jī)器人能夠不使用軌道而只用2到4個(gè)FOUP就訪問所有的EFEM。
型號(hào) | NT410 | NT420 | NT510 | NT520 | NT620 | |
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構(gòu)造 | 水平多關(guān)節(jié)型 | |||||
自由度 | 4 軸 | 5 軸 | 4 軸 | 5 軸 | 5 軸 | |
運(yùn)動(dòng)范圍 | θ1 軸 (旋轉(zhuǎn)JT2) | 340° | 340° | 340° | 340° | 340° |
Z 軸 (上下JT3) | 400 mm | 400 mm | 470 mm | 470 mm | 600 mm | |
θ2 軸 (旋轉(zhuǎn)JT4) | 340° | 340° | 340° | 340° | 340° | |
H1 軸 (旋轉(zhuǎn)JT6) | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | |
H2 軸 (旋轉(zhuǎn)JT7) | - | 340° | - | 380° | 380° | |
大伸展距離 | 1,230 mm | 1,280 mm | 1,230 mm | 1,280 mm | 1,250.7 mm | |
重復(fù)性 | ± 0.1 mm (晶圓中心) | |||||
無塵度*1 | ISO 1級(jí) | |||||
控制柜 | D60/D61 (規(guī)格見無塵控制柜) |
*1: 于川崎的無塵間內(nèi)測(cè)得
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