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廣東國玉科技股份有限公司
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陶瓷基板激光打孔機是目前應用較為廣泛的陶瓷基板打孔設備,它具有高精度、高效率、非接觸等優點,可以實現微米級別的孔徑和孔距控制,適用于各種陶瓷基板的精密打孔需求。
LTCC、HTCC 的生瓷基板加工。
陶瓷基板激光打孔機是目前應用較為廣泛的陶瓷基板打孔設備,它具有高精度、高效率、非接觸等優點,可以實現微米級別的孔徑和孔距控制,適用于各種陶瓷基板的精密打孔需求。
自動上下料系統、視覺對位系統,激光打孔系統、冷卻系統、吸塵系統、軟件控制系統等。
名稱 | 規格 |
單平臺尺寸 | ≥300mm*300mm |
激光可加工區域 | ≥280mm*280mm |
激光波長 | 355nm |
激光平均功率 | ≥15W |
單脈沖能量 | ≥300μJ |
脈沖寬度 | <25ns |
X/Y/Z軸重復精度 | ±1μm |
生瓷片180mm×180mm范圍內通孔位置精度 | 優于±15μm |
CCD對位精度 | 優于±15μm |
下料、上料間隔時間 | ≤10s |
加工速度(雙激光頭) | ≥3600孔/分鐘(0.34mm綠色HTCC生瓷片,0.15mm通孔) |
通孔錐度 | 優于94%,(0.34mm綠色HTCC生瓷片,0.15mm通孔) |
通孔圓度 | 優于95%(0.34mm綠色HTCC生瓷片,0.15mm通孔) |
最小加工孔徑 | 0.08mm(0.15mm綠色HTCC生瓷片) |
加工厚度 | 1.2mm,上下面尺寸差小于0.03mm(綠色HTCC生瓷片,2mm*2mm方腔) |
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