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氣體質量流量控制器WGLD-380(數字)是熱式質量流量計。氣體質量流量控制器(Mass Flow Controller,以下簡稱MFC)可對氣體的質量流量進行精密測量和控制。本產品主要應用的行業有材料科學、環境科學、光伏半導體及化工等領域。
產品特點(優勢):
本具有穩定可靠、響應時間短、標定精度和重復精度高等優點,安裝方便,無安裝位置和直管段要求,操作簡單,可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用,也可通過模擬/數字信號轉換器(AD/DA轉換器)配合計算機使用。
產品參數:
產品名稱 | 氣體質量流量控制器WGLD-380(數字) | |
基本型號 | WGLD-380 | WGLD-380M |
流量規格①(N2標定) | 0~10,50,100,500 SCCM 0~15,20,25,30 SLM | |
調節閥類型 | 常閉式 | 無 |
量程比 | (2~100)%F.S.[(1~99.9%F.S.)可選] | |
流量分辨率 | 0.1%F.S. | |
準確度 | ±1%F.S. (≤15SLM) ±2%F.S. (>15SLM) | |
重復精度 | ±0.2%F.S. | |
響應時間 | ≤2sec | ≤1sec |
工作壓差范圍 | 0.05~0.3MPa (<2slm)<> 0.1~0.3MPa (2SLM-10SLM)0.15~0.3MPa (>10SLM) | <2MPa |
至大耐壓 | 2MPa | |
工作環境溫度 | 5~45°℃ | |
電纜接頭 | DB15pin(針形) | |
輸入輸出信號 | 0~+5.00V(輸入阻抗大于100kΩ,輸 出電流不大于3mA) RS485 MODBUS | 0~+5.00V(無輸入信號,輸出電流不 大于3mA) RS485 MODBUS |
供電電源要求 | 15VDC - 24VDC(300mA) | 15VDC - 24VDC(300mA) |
對外單點泄漏率 | ≤1×10-8Pa·m3/S(He) | |
介質接觸材質 | 316,316L,密封填料 | |
密封材料 | 氯丁橡膠CR,氟橡膠 FKM | |
管道接頭尺寸 | VCR 型接頭:1/4" 雙卡套型接頭:1/4"、1/8"或φ6、φ3mm 內螺紋:9/16-18UNF內螺紋(深度<8mm) | |
凈重量 | 1.0kg | 0.8kg |
注1;滿量程流量不限于表中列出的流量規格,可以在20SLM~30SLM范圍內任選,例如23SLM。 |
產品尺寸:
接線定義:
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