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JSM-7900F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

JEOL新一代場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的旗艦機(jī)型。它繼承了上一代廣獲好評(píng)的性能如的空間分辨率、高穩(wěn)定性、多種功能等的同時(shí)，操作性能極大簡(jiǎn)單化。該設(shè)備不依賴操作者的技能，始終能夠發(fā)揮其性能。

詳細(xì)介紹

JEOL新一代FE-SEM旗艦機(jī)型。它繼承了上一代廣獲好評(píng)的如的空間分辨率、高穩(wěn)定性、多種功能等性能的同時(shí)，操作性能極大地簡(jiǎn)單化。該設(shè)備不依賴操作者的技能，始終能夠發(fā)揮其性能。

主要特點(diǎn)：

◇ Neo Engine（New Electron Optical Engine）

新一代電子光學(xué)控制系統(tǒng)Neo Engine（New Electron Optical Engine），是JEOL電子光學(xué)技術(shù)薈萃的結(jié)晶。它綜合了透鏡控制系統(tǒng)和自動(dòng)化技術(shù)，即使改變電子光學(xué)條件，光軸的偏離也極小，大大提高了可操作性及觀察精度。無論是誰都可以很簡(jiǎn)便地發(fā)揮出儀器原本的功能。

① 提高了自動(dòng)功能

樣品 : 用CP 制備的礦物截面（樹脂包埋）入射電壓 : 5 kV，檢測(cè)器 : RBED，觀察倍率 : ×100,000

不僅提高了自動(dòng)功能的精度，而且只需要幾秒鐘就可以聚焦。

② 提高了倍率的精度

樣品 : 測(cè)長(zhǎng)用的樣品（MRS5）入射電壓 : 10 kV，觀察倍率: ×50,000

大幅度地提高了倍率的精度，而且實(shí)現(xiàn)了高精度測(cè)長(zhǎng)。

③ 能量過濾器更加易用

樣品 : 名片入射電壓 : 1.5 kV，檢測(cè)器 : UED，觀察倍率 : ×3,500

即使大幅度改變能量過濾器的設(shè)定值，視野或聚焦位置基本不會(huì)偏離。

◇ GBSH-S (GENTLEBEAM™ Super High resolution Stage bias mode)

GBSH 是在低加速電壓下提高分辨率的一種方法。新開發(fā)的GBSH-S可以給樣品臺(tái)施加高達(dá)5 kV的偏壓。因此，使用GBSH模式不需要使用專用的樣品桿就可以無縫過渡到其他模式。

※GENTLEBEAM™ 通過給樣品施加偏壓，起到了對(duì)入射電子減速，對(duì)出射電子加速的作用。

◇ 新型背散射電子檢測(cè)器　※ 選配件

采用新開發(fā)的超高靈敏度的背散射電子檢測(cè)器，可以在清晰的襯度下進(jìn)行觀察。靈敏度比以往的產(chǎn)品提高了很多，特別是在低加速電壓下能得到高襯度的成分像。

舊機(jī)型新機(jī)型

樣品 : Cu的截面入射電壓 : 3 kV 觀察倍率 : ×10,000 WD： 4.5 mm

◇ 新型外觀設(shè)計(jì)

外觀設(shè)計(jì)緊湊，大大節(jié)省了安裝空間，可以支持多種安裝環(huán)境。

◇ 新的樣品交換方式

采用新設(shè)計(jì)的樣品交換系統(tǒng)（load lock），操作簡(jiǎn)單了，不僅減少誤操作還提高了通量和耐用性。

◇ SMILENAVI

SMILENAVI 是為初學(xué)者在短時(shí)間內(nèi)學(xué)會(huì)基礎(chǔ)操作而開發(fā)的操作導(dǎo)航系統(tǒng)。操作人員按照流程，只要點(diǎn)擊圖標(biāo)，SEM操作畫面就會(huì)聯(lián)動(dòng)，依照提示引導(dǎo)即可操作。

① 強(qiáng)調(diào)操作按鈕

只要將鼠標(biāo)光標(biāo)挪到SMILENAVI的指南鍵上，SEM的GUI上的相應(yīng)鍵會(huì)出現(xiàn)方框。

在SMILENAVI指南里點(diǎn)擊按鍵后，SEM的GUI會(huì)變成灰色來強(qiáng)調(diào)相應(yīng)鍵。

② 顯示照片

在SMILENAVI的指南里點(diǎn)擊按鍵后，會(huì)顯示該按鍵位置的照片。

③ 顯示操作順序的視頻

SMILENAVI的指南里有介紹操作順序的視頻。

繼承了舊機(jī)型的高性能

◇ 浸沒式肖特基 Plus 電子槍

浸沒式肖特基Plus FEG 通過與電子槍和低像差聚光鏡的組合，性能進(jìn)一步得到改善，達(dá)到了更高的亮度。能有效地收集從電子槍發(fā)射出的電子，即使在低加速電壓下，也能獲得數(shù)pA ～數(shù)10 nA 的探針電流，不用交換物鏡光闌也能進(jìn)行高分辨觀察和快速元素面分布及EBSD 分析。

◇ ACL（光闌角控制鏡）

ACL（光闌角控制鏡）位于物鏡的上方，自動(dòng)優(yōu)化整個(gè)電流范圍內(nèi)的物鏡光闌角。因此，即使改變探針電流量，也能調(diào)整入射電子的擴(kuò)散，始終可以獲取最小的電子束斑。不管是高分辨觀察還是X 射線分析，對(duì)探針電流的大幅度變化都能輕松對(duì)應(yīng)。

◇ 超級(jí)混合式物鏡 / SHL

JSM-7900F 標(biāo)配了JEOL 開發(fā)的電磁場(chǎng)疊加物鏡 —“超級(jí)混合式物鏡（SHL）"，對(duì)任何樣品包括磁性和絕緣材料都能進(jìn)行超高空間分辨率觀察和分析。

◇ 檢測(cè)器系統(tǒng)

能夠同步采集多達(dá)4 種檢測(cè)器的信號(hào)。

標(biāo)配低位檢測(cè)器（LED）和高位檢測(cè)器（UED）。此外，還可以安裝選配件：可插拔式背散射電子檢測(cè)器（RBED）和高位二次電子檢測(cè)器（USD）。

◇ 高空間分辨率觀察

利用GBSH，即使在極低的加速電壓下也能進(jìn)行高分辨率觀察。

GBSH下，高空間分辨率觀察應(yīng)用

● 氧化物納米材料

● 金屬納米顆粒

◇ 低真空功能 ※選配件

利用低真空功能，即使是絕緣材料也不需要對(duì)樣品噴涂導(dǎo)電層，并且能很容易地進(jìn)行觀察及測(cè)試。JSM-7900F 在低真空下也擁有的空間分辨率。

高倍率下的觀察應(yīng)用

● 玻璃

EDS分析應(yīng)用

● 食品

利用低真空功能，能容易地抑制絕緣材料產(chǎn)生的充放電效應(yīng)。

分辨率	1.0 nm (0.5 kV) 0.7 nm (1 kV) 0.6 nm (15 kV) 3.0 nm (5 kV、WD: 10 mm、5 nA)
倍率	×10 ～ ×1,000,000
加速電壓	0.01 ～ 30 kV
探針電流	數(shù) pA ～ 500 nA
檢測(cè)器（標(biāo)配）	高位檢測(cè)器(UED)、低位檢測(cè)器(LED)
電子槍	浸沒式肖特基Plus場(chǎng)發(fā)射電子槍
光闌角控制鏡	內(nèi)置
物鏡	超級(jí)混合式物鏡/SHL
自動(dòng)功能	自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、自動(dòng)調(diào)節(jié)亮度、自動(dòng)調(diào)節(jié)襯度
大景深模式(LDF)	內(nèi)置
樣品臺(tái)	全對(duì)中測(cè)角樣品臺(tái)
樣品移動(dòng)	X:70mm Y:50mm Z:2 ～ 41mm 傾斜軸:-5 ～ 70° 旋轉(zhuǎn):360°
馬達(dá)驅(qū)動(dòng)	5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
樣品交換室	直徑: 100mm 　高度: 40mm
抽真空系統(tǒng)	SIP、TMP、RP