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廣州文明機電有限公司
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JSM-F100集成了備受推崇的In-lens Schottky Plus Gun和電子光學控制系統Neo Engine，一個新開發的操作GUI“SEM Center"和一個創新的Live-AI filter, 實現了高空間分辨率成像觀察和高可操作性。JSM-F100的工作效率比之前的JSM-7000系列高50
◇ 新操作導航SEM Center-集成了EDS操作
新開發的操作GUI“SEM Center"將SEM成像觀察和EDS分析整合在一起，實現了圖像觀察和元素分析的無縫數據采集。
◇ 新功能Zeromag
“Zeromag"，結合了從光學圖像到SEM成像的無縫轉換，很容易定位試樣目標微區。
◇ 新功能Live-AI filter(實時圖像視覺增強器人工智能過濾器) option
配備人工智能Live-AI filter。與圖像集成處理不同，這種新的過濾器可以顯示無縫移動的實時圖像，沒有殘留圖像。這種的特征對于快速搜索觀察區域、聚焦和消像散調整非常有效。
◇ In-lens 肖特基-Plus場發射電子槍(FEG)
電子槍和低像差聚光鏡的增強集成實現了更高的亮度。能夠有效收集電子槍產生的電子，即使低加速電壓下也能得到數pA-數十pA的電流，支持高分辨觀察、高速元素分析和EBSD分析。
◇ 混合透鏡(HL)
混合透鏡(HL)是靜電和電磁場透鏡的組合，支持從磁性材料到絕緣體等各種樣品的高空間分辨率成像和分析
◇ Neo Engine
Neo Engine是一種前沿的電子光學控制系統，在自動功能的精度上有了顯著的提高，可操作性也更高。即使變更電子光學條件，光軸也不偏差，操作性和觀察精度大幅提高?？梢哉f是JEOL電子光學技術的結晶。
◇ ACL
JSM-F100包括一個光闌角孔優化透鏡(ACL)。ACL抑制入射電子的擴散，以始終保持最小的探頭。這是通過對孔徑角度的優化控制來實現的，以適應探頭電流的大變化，使掃描電鏡的操作包括高分辨率成像和x射線分析順利進行。
◇ 檢測器
4個檢測器。標配SED (二次電子検出器)、UED(上方検出器) 、可選件RBED、USD
UED and USD
RBED and SED
分辨率(1 kV) | 1.3納米 |
分辨率(20 kV) | 0.9納米 |
加速電壓 | 0.01至30 kV |
標準檢測器 | 高位電子檢測器(UED)，二次電子檢測器(SED) |
電子槍 | 浸沒式肖特基Plus場發射電子槍 |
探頭電流 | 幾pA至300 nA (30 kV) |
物鏡 | 混合式透鏡(HL) |
樣品臺 | 全優中心(eucentric)測角儀樣品臺 |
樣品移動 | X軸：70毫米，Y軸：50毫米，Z軸：2至41毫米 |
EDS檢測器 | 能量分辨率：133 eV或更低 |
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