CIF透射電鏡樣品桿清洗機(jī)

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產(chǎn)品簡介

CIF透射電鏡（TEM）樣品桿清洗機(jī)采用雙等離子清洗源設(shè)計(jì)，自動切換，一機(jī)多用，清洗快速高效。遠(yuǎn)程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用于TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏用途。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

u 雙等離子清洗源

u 一機(jī)多用

u 快速高效低損傷

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號	CIF-TEM
等離子電源	13.56MHz等離子射頻電源，射頻功率5-150W可調(diào)
	遠(yuǎn)程等離子源，自動匹配器
清洗室	清洗室尺寸(長X寬X高)Φ150XH150mm
清洗數(shù)量	可同時(shí)清洗3支TEM樣品桿
適配品牌	THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷歐路JEOL
氣體控制	標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)（MFC）可選雙路。50毫升/分，自動控制氣體流量，不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響
氣源選擇	根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)狻錃獾榷喾N清洗氣源選擇
真空控制	質(zhì)量流量計(jì)（MFC）美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計(jì)，測量范圍1E-5Torr
真空保證	真空計(jì)和電磁閥安全互鎖
操控方式	7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面
電源	220V，50/60Hz，300W
質(zhì)量保證	二年質(zhì)保，終身維護(hù)
真空泵	Agilent 、IDP-3渦輪式真空干泵
	入口壓力1.0個(gè)大氣壓（0psig），出口壓力1.4個(gè)大氣壓（6.5psig）
	抽速60L/min，極限真空3.3 x 10-1 mbar
	KF16入口接口

關(guān)鍵詞：流量計(jì) 電磁閥真空泵

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