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賽福儀器承德有限公司
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紫外臭氧清洗機（UVO），是一種簡單，經濟，快速高效的材料表面清洗設備，能快速去除大多數無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機污染物。
CIF紫外臭氧清洗機采用長壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，樣品臺高度可調并可選加熱控溫，以便達到清洗效果。
按鍵式紫外臭氧清洗機
觸屏式紫外臭氧清洗機
產品特點
v UVO基礎型采用可編程數字控制器，設置操作簡單方便，四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設置顯示計時時間及加熱溫度。
v 自動補償功能，自動恒定光強光密度，不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。
v 數字倒計時顯示清洗時間，1-999分鐘之間可自行設置清洗時間。
v 可隨時手動中斷處理過程。
v 自動記錄之前清洗參數設置。
v 樣品臺可控溫（可選），控溫范圍RT-260℃，控溫精度0.1℃。
v 頂置下壓式鉸鏈開關蓋方式，操作簡單方便。
v 上置式樣品臺設計，360度自由放置樣品，操作方便。
v 樣品臺高度可調，通過調節燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，并可鎖定。
v UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，燈管壽命大約為8000小時。
v 高強度UV燈源，波長185nm和254nm。
v UV反射罩（長x寬）比UV格柵燈大2.5cm，比如規格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。
v 雙重安全保護，當清洗腔打開時，系統安全鎖會關掉UV燈，并有燈光通斷提示。
v 帶進&出氣口雙氣路設計，可接入氧氣或者臭氧，增加臭氧產量。
v UVO5可選外置臭氧中和器，UVO9、UVO12系列可選外置或者內置臭氧中和器，用于臭氧清除。
v 可根據客戶要求定制鋁或石英材料真空反應腔。
技術參數
產品型號 | UV燈尺寸cm | 樣品臺高度cm | 主機重量kg | 外型尺寸（LxWxH）cm |
UVO5/UVO5P/UVO5T | 13x13 | 5cm內可調 | 6 | 31x26x20 |
注：UVO型基礎型樣品臺不帶加熱功能，樣品臺高度不可調；UVOP可選配樣品臺加熱功能，樣品臺高度可調；UVOT標配樣品臺加熱功能，樣品臺高度可調。
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