AT-XTJ-2 旋轉涂膜機產品簡介
旋轉涂膜機簡稱旋涂機適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點，并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。
AT-XTJ-2 旋轉涂膜機主要技術參數
轉速：100-10000轉/分
轉速穩定性：<±1%
旋涂均勻性：<±3%
基片尺寸： Φ5-Φ100mm 100mm 100mm圓片，100 ×100mm 100mm100mm100mm2方片
適應材料：硅片、 玻璃石英金屬適應材料：硅片、 玻璃石英金屬適應材料：硅片、 玻璃石英金屬GaAs GaAs、GaN 、InPInPInP等各種材料
旋涂時間：單步工藝 0-3000s，可根據用戶需求增加調節時間 ，可根據用戶需求增加調節時間 ，可根據用戶需求增加調節時間 分辨率0.1S
可編程：1-5段 每段均可單獨編程，速度可調，時間可設
；適用厚度0.3mm~2mm（無額外費用）；
3、標準配置：（以下均按實際需求填寫）
需配置50mm，80mm&100mm三個片托
真空泵參數要求：流量≥15L/min 真空管直徑6mm 無油真空泵
4、服務要求：（以下均按實際需求填寫）
1、供貨期：收到預付款后30個工作日內發貨；
3、送貨方式：免費送貨上門；
4、安裝調試：供方負責免費安裝調試、并培訓1-3名操作員學會獨立操作為止；
5、售后服務：保修期內出現質量問題能24h內快速相應，終生維護，并承諾15年內皆有零件更換。
產品特點
1.多種參數規格可供選擇包含單頭、多頭，單速、多速等系列產品，滿足客戶不同需求。
2.其勻膠速度、時間分多個時段，并分別無級可調。
3.電器線路可靠，電機運轉平穩，吸片采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個氣泵可同時帶幾個勻膠機工作,提高了效率。
