注塑機 擠出機 造粒機 吹膜機 吹塑機 吹瓶機 成型機 吸塑機 滾塑機 管材生產線 板材生產線 型材生產線 片材生產線 發泡設備 塑料壓延機
武漢華工激光工程有限責任公司
武漢華工激光工程有限責任公司
暫無信息 |
面向半導體產業鏈上游原材料生產企業、中游晶圓生產企業，采用獨立開發的光學明暗場檢測系統，對半導體原片、外延片、無圖形晶圓的外觀缺陷進行檢測。 檢測精度 7 μm 檢測鏡頭 高清工業鏡頭 整機尺寸（mm） 1800*1300*2250
適用于4—8英寸原片、襯底、外延片及無圖形晶圓
檢測顆粒、凹坑、凸起、劃傷、污點、裂紋等缺陷
系統分辨率：1-10μm
無圖形晶圓：缺陷數量在200個以內的情況下，180秒/片
| 項目 | 主要技術參數 | |
| 常規參數 | Wafer尺寸 | 標配4" , 6"(可擴展4"-8") |
| 料盒數量 | 雙層， 14 pcs | |
| 上下料方式 | 機械手， Mapping掃描 | |
| 運動平臺 | Y行程 350mm，重復精度 10μm Z行程 8mm，重復精度 5μm | |
| 產能 | 4" , 140WPH 6" , 120WPH | |
| 檢測性能 | 檢測精度 | 7 μm |
| 相機 | 高分辨率工業相機 | |
| 鏡頭 | 高清工業鏡頭 | |
| 光源 | 光源 | |
| 使用環境 | 供電規格 | AC220V， 50Hz |
| 氣源要求 | 0 .5-0 .7Mpa壓縮空氣， 無明顯水汽和油脂 | |
| 設備重量 | 溫度15-40℃， 濕度要求30%-70%， 無凝霜 | |
| 整機尺寸 | 1800mm*1300mm*2250mm | |
您感興趣的產品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
塑料機械網 設計制作，未經允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
