Pfeiffer 普發(fā)多級(jí)羅茨泵

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  美國 HVA真空閥門

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產(chǎn)品簡介

Pfeiffer 普發(fā)多級(jí)羅茨泵

詳細(xì)介紹

Pfeiffer 普發(fā)多級(jí)羅茨泵(干式真空泵)
上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)多級(jí)羅茨泵 (干式真空泵) 為各種應(yīng)用提供清潔和干燥的真空環(huán)境！提供適合清潔制程應(yīng)用的 ACP 系列多級(jí)羅茨泵和 A 100L, ACG 600 G, ACP 120 G 干泵, 適合普通制程應(yīng)用的 A3P 系列和適合嚴(yán)苛制程應(yīng)用的 ADH , A4H, A4X 系列.
一、適合清潔制程應(yīng)用的干泵
氣冷型多級(jí)羅茨泵 ACP 15, ACP 28, ACP 40 很少需要保養(yǎng), 適用于分析儀器以及半導(dǎo)體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制程.

型號(hào)	接口尺寸 DN	極限真空度 mbar		抽速	漏率	重量
型號(hào)	接口尺寸 DN	有氣鎮(zhèn)閥	無氣鎮(zhèn)閥	m3/h	mbar l/s	kg
ACP 15 SD ACP 15 G	25	0.1	3.10-2	14	< 5.10-7	23
ACP 28 SD ACP 28 G ACP 28 CV ACP 28 CP ACP 28 SH	25	0.1	3.10-2	27	< 5.10-7	30
ACP 40 SD ACP 40 G ACP 40 CV ACP 40 CP ACP 40 SH	40	0.1	3.10-2	37	< 5.10-7	32

SD: 標(biāo)準(zhǔn)版本, 適用于要求清潔無塵且無腐蝕性氣體的應(yīng)用設(shè). 標(biāo)準(zhǔn)泵配有氣鎮(zhèn)閥, 可以改善小分子氣體的抽氣能力并避免泵內(nèi)部冷凝. 三種氣鎮(zhèn)可選,滿足不同應(yīng)用
G: 抗腐蝕版本, 適用于微量腐蝕性氣體, 三個(gè)吹掃氣體噴嘴可保護(hù)低壓和高承, 并稀釋一定量的腐蝕性氣體.
CV: 耐水汽版本, 適用于抽氣環(huán)境含有水汽的應(yīng)用, 純水蒸汽容量擴(kuò)展至 1,000 g/h
SH: 無氟版本
CP: 氣體回收版本, 通入氣體必須是清潔, 無塵, 無腐蝕性的氣體

緊湊型多級(jí)羅茨泵 A 100 L , 用于潔凈制程的整體式干泵

型號(hào)	進(jìn)氣口尺寸 DN	極限壓力 hPa	抽速	噪音比	重量
型號(hào)	進(jìn)氣口尺寸 DN	極限壓力 hPa	m3/h	dB (A)	kg
A 100 L	50	6.6 X 10-3	100	58	100
A 100L ES	50	7 X 10-4	100	55	100
A 200 L	50	8 X 10-3	200	58	100

L: 標(biāo)準(zhǔn)版本 ES: 節(jié)能版本

適合工業(yè)用途的干泵, ACG 600 G, ACP 120 G, 具有高抽速和低極限壓力多級(jí)羅茨泵 ACP 120 泵可用于冷凍干燥應(yīng)用

型號(hào)	連接尺寸 DN	吹掃流為50 SL/mn 極限壓強(qiáng)	抽速	噪音比	重量
型號(hào)	連接尺寸 DN	Mbar	m3/h	dBA	kg
ACP 120	50	NA	95	< 65	205
ACP 120 G	50	3E-2	95	< 65	205
ACG 600 G	100	6 X 10-3	480	68	320

二、適合普通制程應(yīng)用的 A3P 系列, 適用于針對中型工藝的高能效技術(shù)
具有三款型號(hào)可選, 由于產(chǎn)品極大地降低了運(yùn)營成本, 使其在市場中脫穎而出. 與以往真空泵技術(shù)相比, 節(jié)約能耗可達(dá) 50％, 在工藝適應(yīng)性方面, 該系列真空泵結(jié)合了的技術(shù).此外, 由于產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊, 使其與傳統(tǒng)的真空泵相比, 可節(jié)約高達(dá)50％的空間.

三、適合嚴(yán)苛制程應(yīng)用的 ADH , A4H, A4X 系列.

關(guān)鍵詞：真空泵

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