水浸超聲掃描顯微鏡S600

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更新時間：2023-03-06 10:25:49瀏覽次數：347次

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惠州市華高儀器設備有限公司

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產品簡介

水浸超聲掃描顯微鏡S600

詳細介紹

產品概述:

超聲掃描顯微鏡（SAT）是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測成像設備，主要利用高頻超聲波，對各類半導體器件、材料進行檢測，能夠檢測出樣品內部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷，并以圖形的方式直觀展示。在掃描過程中，不會對樣品造成損傷，不會影響樣品性能，可有效滿足新能源、半導體、電力電子、熱管理材料、金剛石復合材料、碳纖維復合材料等行業需求。

產品特點:

1、具備A（點掃描）、B（縱向掃描）、C（橫向掃描）、透射掃描（需配置透射掃描單元及接收探頭選項）、多層掃描、Tray-托盤掃描，厚度測量等系列掃描模式。

2、具備定量測分析功能，以圖像方式直觀顯示被測件內部缺陷的位置、形狀和大小，并進行缺陷的尺寸和面積統計，自動計算缺陷占所測量面積的百分比；具備缺陷尺寸標識；厚度與測距等功能。

3、具備圖像著色功能，可根據相位翻轉自動著色；可根據灰度等級手動著色；可根據厚度變化，自動著色；

4、適用于單個器件的快速掃描分析，也可批量放置樣品同步進行缺陷識別，快速篩選出不合格品。

5、可兼容1~110MHz的超聲探頭。

6、檢測軟件自主研發，中英文界面，可根據客戶需求對功能進行持續升級。

產品參數：

序號	機電特性	規格型號
1	整機尺寸	1000mm×900mm×1400mm
2	水槽尺寸	620mm×650mm×150mm
3	有效掃描范圍	350mm×300mm×100mm
4	掃描速度	600mm/s
5	超聲探頭	可兼容1~110MHz的超聲探頭。
6	定位精度	X/Y≤±0.5μm，Z≤±5μm
7	重復定位精度	X/Y≤±0.01mm，Z≤±0.02mm

產品主要配置表：

序號	名稱	規格
1	掃描系統	X軸：直線電機驅動；Y軸：伺服電機驅動；Z軸：步進電機驅動
2	水槽	620mm x 650mm x 150 mm
3	超聲發射、接收器	帶寬1-65MHz
4	高速數據采集卡	采樣頻率 500MHz
5	工控機	i5處理器、內存8GB、硬盤1T、Win10 64位操作系統。
6	顯示器	兩個27"液晶顯示器
7	檢測軟件	和伍超聲無損檢測軟件