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成都中冷低溫科技有限公司


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半導體冷水機低溫冰水機Chiller

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更新時間:2024-12-18 13:15:03瀏覽次數:595次

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產品簡介

半導體冷水機低溫冰水機Chiller ZL,本設備是一款水冷型冷水機,具有定時運轉、液面下降、停電復歸、水泵防凍結、可實現遠程控制、可進行觸摸屏操控等功能。

詳細介紹

半導體冷水機低溫冰水機Chiller

應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度控制,具有溫度穩定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。


半導體冷水機低溫冰水機Chiller

密閉循環系統

整個系統為全密閉系統,高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份,系統在運行中不會因為高溫使壓力上升,低溫自動補充導熱介質。

安全防護

具有自我診斷功能:相序斷相保護器、冷凍機過載保護,高壓壓力開關,過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。不用更換導熱介質,而且不需要加壓的情況下就可以實現-60℃~200℃連續控溫。



應用于半導體行業蝕刻裝置,CMP (工藝機械拋光),實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。

溫控精度(空載時)±0.05℃

觸摸屏操作,人機交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能

溫度波動小

占地面積小、保護裝置

快速升溫/降溫、提高生產效率、降低運營成本和保障生產

運行穩定、準確控溫


應用于半導體行業蝕刻裝置,CMP (工藝機械拋光),實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。

溫控精度(空載時)±0.05℃

觸摸屏操作,人機交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能

溫度波動小

占地面積小、保護裝置

快速升溫/降溫、提高生產效率、降低運營成本和保障生產

運行穩定、準確控溫


關鍵詞:模具 冷凍機
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