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MEMS?傳感器領(lǐng)域的研究較晚,但已經(jīng)成為*的力量
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廈門元航機(jī)械有限公司-黎 T:173 0601 8800??
微陀螺儀是一種角速率傳感器,主要用于汽車導(dǎo)航的GPS信號補(bǔ)償和汽車底盤控制系統(tǒng),主要有振動(dòng)式、轉(zhuǎn)子式等幾種。應(yīng)用多的屬于振動(dòng)陀螺儀,它利用單晶硅或多晶硅的振動(dòng)質(zhì)量塊在被基座帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的哥氏效應(yīng)來感測角速度。例如汽車在轉(zhuǎn)彎時(shí),系統(tǒng)通過陀螺儀測量角速度來指示方向盤的轉(zhuǎn)動(dòng)是否到位,主動(dòng)在內(nèi)側(cè)或者外側(cè)車輪上加上適當(dāng)?shù)闹苿?dòng)以防止汽車脫離車道,通常,它與低加速度計(jì)一起構(gòu)成主動(dòng)控制系統(tǒng)。在運(yùn)動(dòng)員的日常訓(xùn)練中,MEMS傳感器可以用來進(jìn)行3D人體運(yùn)動(dòng)測量,對每一個(gè)動(dòng)作進(jìn)行記錄,
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教練們對結(jié)果分析,反復(fù)比較,以便提高運(yùn)動(dòng)員的成績。隨著MEMS技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展,MEMS傳感器的價(jià)格也會(huì)隨著降低,這在大眾健身房中也可以廣泛應(yīng)用。在滑雪方面,3D運(yùn)動(dòng)追蹤中的壓力傳感器、加速度傳感器、陀螺儀以及GPS可以讓使用者獲得極精確的觀察能力,除了可提供滑雪板的移動(dòng)數(shù)據(jù)外,還可以記錄使用者的位置和距離。在沖浪方面也是如此,安裝在沖浪板上的3D運(yùn)動(dòng)追蹤,可以記錄海浪高度、速度、沖浪時(shí)間、漿板距離、水溫以及消耗的熱量等信息。
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在MEMS Drive出現(xiàn)之前,攝像頭主要由音圈馬達(dá)移動(dòng)鏡頭組的方式實(shí)現(xiàn)防抖(簡稱鏡頭防抖技術(shù)),受到很大的局限。而另一個(gè)在市場上較的防抖技術(shù):多軸防抖,則是利用移動(dòng)圖像傳感器(Image Sensor)補(bǔ)償抖動(dòng),但由于這個(gè)技術(shù)體積龐大、耗電量超出載荷,一直無法在上應(yīng)用。憑著微機(jī)電在體積和功耗上的突破,技術(shù)MEMS Drive類似一張貼在圖像傳感器背面的平面馬達(dá),帶動(dòng)圖像傳感器在三個(gè)旋轉(zhuǎn)軸移動(dòng)。MEMS Drive 的防抖技術(shù)是透過陀螺儀感知拍照過程中的瞬間抖動(dòng),依靠精密算法,計(jì)算出馬達(dá)應(yīng)做的移動(dòng)幅度并做出快速補(bǔ)償。這一系列動(dòng)作都要在百分之一秒內(nèi)做完,你得到的圖像才不會(huì)因?yàn)槎秳?dòng)模糊掉。拍照帶給我們隨時(shí)隨地的便捷,但是面對復(fù)雜的環(huán)境、多樣的拍照場景,人手拍照有無法避免的抖動(dòng),像是走著跑著躺著拍照,或者把手伸長、手握自拍桿自拍,無論哪種抖動(dòng),憑借MEMS DRIVE馬達(dá)的五軸防抖,和快速、控制的技術(shù)優(yōu)勢,都能呈現(xiàn)出更清晰更銳麗的圖
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Badger Meter伺服電機(jī)控制閥_1/2NPT/RC250/1.4539
Badger Meter伺服電機(jī)控制閥1/2"NPT,1.4539,HH500,230 VAC
Badger Meter伺服電機(jī)控制閥3/4NPT,1.4539,230VAC(50/60Hz)
BadgerMeter伺服電機(jī)控制閥3/4NPT 1.4539 HH500
Badger Meter 伺服電機(jī)控制閥3/4" NPT 1.4539
Badger Meter伺服電機(jī)控制閥3/4NPT-1.4539
微機(jī)械壓力傳感器是早開始研制的微機(jī)械產(chǎn)品,也是微機(jī)械技術(shù)早開始產(chǎn)業(yè)化的產(chǎn)品。從信號檢測方式來看,微機(jī)械壓力傳感器分為壓阻式和電容式兩類,分別以體微機(jī)械加工技術(shù)和犧牲層技術(shù)為基礎(chǔ)制造。從敏感膜結(jié)構(gòu)來看,有圓形、方形、矩形、E形等多種結(jié)構(gòu)。壓阻式壓力傳感器的精度可達(dá)0.05%~0.01%,年穩(wěn)定性達(dá)0.1%/F.S,溫度誤差為0.0002%,耐壓可達(dá)幾百兆帕,過壓保護(hù)范圍可達(dá)傳感器量程的20倍以上,并能進(jìn)行大范圍下的全溫補(bǔ)償。現(xiàn)階段微機(jī)械壓力傳感器的主要發(fā)展方向有以下幾個(gè)方面。硅微加速度傳感器是繼微壓力傳感器之后第二個(gè)進(jìn)入市場的微機(jī)械傳感器。其主要類型有壓阻式、電容式、力平衡式和諧振式。其中有吸引力的是力平衡加速度計(jì),其典型產(chǎn)品是Kuehnel等人在1994年報(bào)道的AGXL50型。
?SPIN-ON FILTERARIELA-0661
FIRST STAGE EXHAUST ASSEMBLYARIELB-5735-N
VALVE ASSY.ARIELB-5730-N
DISCHARGE VALVEARIELB-3492-HH
SUCTION VALVEARIELB-3491-JJ
DISCHARGE VALVEARIELB-3712-GG
SUCTION VALVEARIELB-4087-FF
CONCENT/RIC VALVEARIELB-1788-E
國內(nèi)在微加速度傳感器的研制方面也作了大量的工作,如西安電子科技大學(xué)研制的壓阻式微加速度傳感器和清華大學(xué)微電子所開發(fā)的諧振式微加速度傳感器。后者采用電阻熱激勵(lì)、壓阻電橋檢測的方式,其敏感結(jié)構(gòu)為高度對稱的4角支撐質(zhì)量塊形式,在質(zhì)量塊4邊與支撐框架之間制作了4個(gè)諧振梁用于信號檢測。角速度一般是用陀螺儀來進(jìn)行測量的。傳統(tǒng)的陀螺儀是利用高速轉(zhuǎn)動(dòng)的物體具有保持其角動(dòng)量的特性來測量角速度的。這種陀螺儀的精度很高,但它的結(jié)構(gòu)復(fù)雜,使用壽命短,成本高,一般僅用于導(dǎo)航方面,而難以在一般的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)中應(yīng)用。實(shí)際上,如果不是受成本限制,角速度傳感器可在諸如汽車牽引控制系統(tǒng)、攝象機(jī)的穩(wěn)定系統(tǒng)、科研儀器、軍事儀器、運(yùn)動(dòng)機(jī)械、計(jì)算機(jī)慣性鼠標(biāo)、軍事等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。常見的微機(jī)械角速度傳感器有雙平衡環(huán)結(jié)構(gòu),懸臂梁結(jié)構(gòu)、音叉結(jié)構(gòu)、振動(dòng)環(huán)結(jié)構(gòu)等。但是,實(shí)現(xiàn)的微機(jī)械陀螺的精度還不到10°/h,離慣性導(dǎo)航系統(tǒng)所需的0.1°/h相差尚遠(yuǎn)。
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北京大學(xué)微電子所提出的1種微結(jié)構(gòu)氣體傳感器,由硅梁、激振元件、測振元件和氣體敏感膜組成。硅梁被置于被測氣體中后,表面的敏感膜吸附氣體分子而使梁的質(zhì)量增加,使梁的諧振頻率減小。這樣通過測量硅梁的諧振頻率可得到氣體的濃度值。對NO2氣體濃度的檢測實(shí)驗(yàn)表明,在0×10~1×10的范圍內(nèi)有較好的線性,濃度檢測極限達(dá)到1×10,當(dāng)工作頻率是19kHz時(shí),靈
微流量傳感器不僅外形尺寸小,能達(dá)到很低的測量量級,而且死區(qū)容量小,響應(yīng)時(shí)間短,適合于微流體的精密測量和控制。國內(nèi)外研究的微流量傳感器依據(jù)工作原理可分為熱式(包括熱傳導(dǎo)式和熱飛行時(shí)間式)、機(jī)械式和諧振式3種。清華大學(xué)精密儀器系設(shè)計(jì)的閥片式微流量傳感器通過閥片將流量轉(zhuǎn)換為梁表面彎曲應(yīng)力,再由集成在閥片上的壓敏電橋檢測出流量信號。該傳感器的芯片尺寸為3.5mm×3.5mm,在10ml~200ml/min的氣體流量下,線性度優(yōu)于5%。根據(jù)制作材料的不同,微氣敏傳感器分為硅基氣敏傳感器和硅微氣敏傳感器。其中前者以硅為襯底,敏感層為非硅材料,是當(dāng)前微氣敏傳感器的主流。微氣體傳感器可滿足人們對氣敏傳感器集成化、智能化、多功能化等要求。例如許多氣敏傳感器的敏感性能和工作溫度密切相關(guān),因而要同時(shí)制作加熱元件和溫度探測元件,以監(jiān)測和控制溫度。MEMS技術(shù)很容易將氣敏元件和溫度探測元件制作在一起,保證氣體傳感器優(yōu)良性能的發(fā)揮。諧振式氣敏傳感器不需要對器件進(jìn)行加熱,且輸出信號為頻率量,是硅微氣敏傳感器發(fā)展的重要方向之一。
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