主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)-主動(dòng)隔振臺(tái)-主動(dòng)式除振平臺(tái)-HerzAVI200系列是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統(tǒng)，用于抵消工作環(huán)境對(duì)靈敏度高的精密設(shè)備產(chǎn)生的不必要振動(dòng)，以提高精密設(shè)備的性能，具有的性能及通用性。該隔振