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ETSA-300氣浮平臺(tái)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱(chēng)天津納微機(jī)器人科技有限公司
品牌
型號(hào)
所在地天津市
廠(chǎng)商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2024/12/20 15:54:32
訪(fǎng)問(wèn)次數(shù)12

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天津納微機(jī)器人科技有限公司是一家專(zhuān)注于納米級(jí)精度控制控制技術(shù)和產(chǎn)品的研發(fā)，圍繞微納操作機(jī)器人、微納定位、微納測(cè)試及微納制造裝備技術(shù)，致力于為高校及科研院所的科學(xué)研究、創(chuàng)新研發(fā)等提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案的專(zhuān)業(yè)服務(wù)商。主要服務(wù)模式為：1）微納定位系統(tǒng)及電容位移傳感器的銷(xiāo)售；2）微納操作機(jī)器人、微納定位平臺(tái)、微納測(cè)試系統(tǒng)及微納制造裝備的定制研發(fā)。

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電控臺(tái)

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ETSA-300氣浮平臺(tái)說(shuō)明：1.氣浮平臺(tái)克服了傳統(tǒng)機(jī)械定位臺(tái)行程短，響應(yīng)滯后大，摩擦阻力等不足，實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)行程高精度與高速定位功能，在半導(dǎo)體光刻設(shè)備，精密測(cè)量和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域中具有不可替代的作用

ETSA-300氣浮平臺(tái) 產(chǎn)品信息

ETSA-300氣浮平臺(tái)

說(shuō)明：

1.氣浮平臺(tái)克服了傳統(tǒng)機(jī)械定位臺(tái)行程短，響應(yīng)滯后大，摩擦阻力等不足，實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)行程高精度與高速定位功能，在半導(dǎo)體光刻設(shè)備，精密測(cè)量和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域中具有不可替代的作用。

2.重復(fù)定位精度高，俯仰偏擺角度小，運(yùn)動(dòng)臺(tái)與導(dǎo)軌使用同種材料，在溫度變化較大的工況下不會(huì)出現(xiàn)氣浮臺(tái)常見(jiàn)的“抱死”現(xiàn)象。

特點(diǎn)：

通過(guò)靜壓氣浮隔離機(jī)械運(yùn)動(dòng)副之間的接觸，提高平臺(tái)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)精度、表面平滑、微小偏差（俯仰，偏擺等）、性能穩(wěn)定、沒(méi)有機(jī)械損耗、“零”摩擦可使其進(jìn)入納米級(jí)應(yīng)用。

使用場(chǎng)所：

精密加工、精密測(cè)量、微電子制造業(yè)、光刻機(jī)平臺(tái)、半導(dǎo)體加工業(yè)、掃描。