NT系列機器人:
NT410 / NT510 單手臂
NT420 / NT520 雙手臂
NT620懸掛式安裝,雙手臂
應用:
- 無塵室
無塵機器人外設:
- 抓手
- 校準器NS004
- 產品介紹
的伸展距離單個的NT系列手臂可以伸展到四個FOUP。選配的線性軸可以增加FOUP多到五個。高吞吐量標準NT機器人的吞吐量是用校準器280晶圓每小時(WPH)與不用校準器400WPH。可用選配的抓手,增加吞吐量到700WPH。SEMI F47合規NT型號可以瞬時響應電波動,如電壓下降,并且在電壓恢復時自動恢復運行。SEMI S2合規NT型號可以滿足對環境和人身安全的特殊考慮。碰撞檢測軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能,以減少碰撞所造成精密、專用設備的損壞。懸掛式安裝NT620型號具有吊裝規格設計,用于在化學液體環境中使用,同時滿足ISO1級的要求。
應用范例
NT系列寬廣的運動范圍使其能夠訪問主室,而不需要一個梭子或額外的機器人。
布局范例
一個單個的NT系列機器人能夠不使用軌道而只用2到4個FOUP就訪問所有的EFEM。
NT系列機器人規格
型號 | NT410 | NT420 | NT510 | NT520 | NT620 | |
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構造 | 水平多關節型 | |||||
自由度 | 4 軸 | 5 軸 | 4 軸 | 5 軸 | 5 軸 | |
運動范圍 | θ1 軸 (旋轉JT2) | 340° | 340° | 340° | 340° | 340° |
Z 軸 (上下JT3) | 400 mm | 400 mm | 470 mm | 470 mm | 600 mm | |
θ2 軸 (旋轉JT4) | 340° | 340° | 340° | 340° | 340° | |
H1 軸 (旋轉JT6) | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | |
H2 軸 (旋轉JT7) | - | 340° | - | 380° | 380° | |
大伸展距離 | 1,230 mm | 1,280 mm | 1,230 mm | 1,280 mm | 1,250.7 mm | |
重復性 | ± 0.1 mm (晶圓中心) | |||||
無塵度*1 | ISO 1級 | |||||
控制柜 | D60/D61 (規格見無塵控制柜) |
*1: 于川崎的無塵間內測得