現(xiàn)貨日本ULVAC皮拉尼真空計(jì)傳感器頭WP-01
現(xiàn)貨日本ULVAC皮拉尼真空計(jì)傳感器頭WP-01
特點(diǎn)
傳感器規(guī)格:如果需要壓力
·空白計(jì)劃降低
·控制板空間節(jié)省
·配線簡化決定子交換更容易
燈絲采用耐腐蝕材料鉑
其中一個使用的測量組件(SP1:WP-01,02,03,16)稍后使用
可以輸出2個設(shè)定點(diǎn)
SP1:壓力為0至5 V輸出(非輸出)
電源電壓:24 VDC輸入
用途
用于半導(dǎo)體?電子部件等各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于在線式?片葉式等工藝腔室多種的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
規(guī)格
類型 | 傳感器單元 |
模型 | SP1 |
兼容的傳感器頭 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
準(zhǔn)確性 | ±15 %(51 Pa ~760 Pa) |
±30 %(10 Pa ~1000 Pa) | |
±50 %(0.4 Pa ~3000 Pa) | |
工作溫度范圍 | 10~40℃ |
測量值輸出 | 非線性輸出:0至5VDC(zui 大10V) |
設(shè)定點(diǎn) 1/2 壓力設(shè)定調(diào)節(jié)監(jiān)視器 | 非線性輸出:0至5VDC(zui 大10V) |
控制輸出信號 | 集電極開路輸出,負(fù)邏輯 |
錯誤信號 | |
設(shè)定值 1/2 | |
LED顯示屏 | 功率、錯誤、設(shè)定點(diǎn) 1、設(shè)定點(diǎn) 2 |
電源電壓 | DC24V±2V,90mA(zui 大) |
輸入/輸出連接器 | D-sub-15P(M2.6螺絲) |
重量 | 190克/0.41磅(不包括傳感器頭) |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 輸入/輸出連接器 1 個 |
快速說明書 1份 |