產(chǎn)品特點(diǎn):
u PLC工控機(jī)控制整個(gè)去膠過程,全自動(dòng)進(jìn)行。
u 7寸彩色觸摸屏互動(dòng)操作界面,圖形化用戶操作界面顯示,自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài),0~99個(gè)配方程序,可存儲(chǔ)、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù),機(jī)器運(yùn)行、停止提示。手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。
u 采用石英真空倉(cāng),全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無污染。
u 自動(dòng)匹配器,功率無極可調(diào)。
u 采用美國(guó)德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計(jì),雙路氣體控制氣體流量,可輸入氧氣、氬氣、氮?dú)狻錃饣蚧旌蠚?/font>等氣體,氣體分配均勻,經(jīng)濟(jì)實(shí)用。
u 符合人體功能學(xué)的60度傾角操作界面設(shè)計(jì),操作方便,界面友好。
u 上控制下艙體上下結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)更合理,占用實(shí)驗(yàn)室空間小。
u 內(nèi)凹式前面板設(shè)計(jì),有效保護(hù)流量計(jì)和艙門運(yùn)輸過程中不易損壞。
u 處理高效均勻,效率高,工藝重復(fù)性好。
u 樣品處理溫度低,無熱損傷和熱氧化。
u 安全保護(hù),倉(cāng)門打開,自動(dòng)關(guān)閉電源。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | ICP-5 | ICP-5plus |
艙體尺寸 | D260xΦ155mm | D260xΦ155mm |
艙體容積 | 5L | 5L |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動(dòng)匹配 | 自動(dòng)匹配 |
激發(fā)方式 | 360度外置環(huán)繞電極,電感耦合 | 360度外置環(huán)繞電極,電感耦合 |
射頻功率 | 10-300W可調(diào) | 10-150W可調(diào) |
處理尺寸 | L260xW155mm | L260xW155mm |
真空系統(tǒng) | 石英真空倉(cāng)、316不銹鋼材質(zhì)真空管路 | |
氣體控制 | 雙浮子流量計(jì),雙路控制氣體流量 | |
工藝氣體 | Ar、N?、O?、H?等(可選) | |
產(chǎn)品尺寸 | L618xW520xH465mm | |
包裝尺寸 | L750xW640xH570mm | |
時(shí)間設(shè)定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速約8m3/h | |
氣體穩(wěn)定時(shí)間 | 1分鐘 | |
真空度 | 100pa以內(nèi) | |
電 源 | AC220V 50-60Hz,所有配線符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。 |