產品特點:
觸摸按鍵 +4.3 寸液晶顯示屏+雙浮子流量計組合控制方式,經濟實用。
手動、自動兩種工作模式。
弧形等離子激發板,等離子激發能力更強。
采用美國德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計,雙路氣體控制。
分體式設計,便于手套箱內使用。
安全保護,倉門打開,自動關閉電源。
技術參數
型號 | VGB-P | CPC-Plus |
艙體尺寸 | D178xΦ150mm | D178xΦ150mm |
艙體容積 | 3L | 3L |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 |
激發方式 | 電容式 | 電容式 |
射頻功率 | 10-300W可調 | 10-150W可調 |
氣體控制 | 雙浮子流量計(標配) | |
有效處理尺寸 | L200xW155mm | |
時間設定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速4-8m3/h | |
氣體穩定時間 | 1分鐘 | |
真空度 | 100pa以內 | |
電 源 | AC220V 50-60Hz |