應(yīng)用范圍:
Nernst 微電子行業(yè)便捷式微量氧分析儀是專(zhuān)門(mén)針對(duì)微電子行業(yè)設(shè)計(jì)制造的第7代微氧分析儀。廣泛應(yīng)用于快速退火爐,Rapid Thermal Processing,真空焊接爐,電子行業(yè)芯片制造,回流焊,手套箱,3D打印,生物醫(yī)藥業(yè),精密零部件光亮退火爐,高強(qiáng)合金刀具涂層處理設(shè)備等,以及各種小型設(shè)備上需控氧的工藝。由于采用長(zhǎng)壽命,高精度氧化鋯片結(jié)構(gòu)原理,可有效測(cè)量微氧,所測(cè)微氧量可達(dá)10-30%~氧含量,特別適合對(duì)產(chǎn)品工藝氧含量要求控制要求嚴(yán)格設(shè)備和工藝。分析儀實(shí)時(shí)提供爐內(nèi)或煙道內(nèi)煙氣的含量O2%(百分比)以及12種其他有用的參數(shù)。微氧氣分析儀也適用于其他各種需要測(cè)量高精度氧氣含量的領(lǐng)域。
微電子行業(yè)便捷式微量氧分析儀 技術(shù)特點(diǎn):
◆ 氧探頭傳感器:內(nèi)置式高精度片狀氧化鋯傳感器,反應(yīng)速度快,響應(yīng)時(shí)間<100毫秒。
◆ 多路輸出控制:儀器有兩路4~20mA電流輸出及計(jì)算機(jī)通訊接口RS232或網(wǎng)絡(luò)通訊接口RS485。
◆ 測(cè) 量 范 圍: 測(cè)氧范圍10的負(fù)30次方至氧量。
◆ 氧量顯示單位:百分含量%,PPM方式,科學(xué)計(jì)數(shù)法E-X%自動(dòng)轉(zhuǎn)換。
◆ 報(bào) 警 設(shè) 置: 儀器有1路通用報(bào)警輸出以及3路可編程序報(bào)警輸出。
◆ 自 動(dòng) 校 正: 儀器會(huì)自動(dòng)監(jiān)測(cè)各功能系統(tǒng)并自動(dòng)校正以保證儀器測(cè)量時(shí)的精度。
◆ 智 能 系 統(tǒng): 儀器可人機(jī)對(duì)話并按預(yù)定的設(shè)置完成各項(xiàng)設(shè)置的功能。
◆ 顯示輸出功能:儀器有很強(qiáng)的顯示各種參數(shù)的功能并具有很強(qiáng)的各種參數(shù)的輸出和控制功能。
◆ 安 全 功 能: 當(dāng)爐子停止使用時(shí),用戶可控制關(guān)閉探頭的加熱器以確保使用時(shí)的安全。
◆ 無(wú) 需 安 裝: 儀器為一體化便捷式分析儀。
規(guī)格和參數(shù):