1、伺服電機驅動及主軸連接技術

   1.1離心旋轉沖洗甩干是設備的核心功能，旋轉電機就成為設備的核心部件之一。本機采用伺服電機驅動方式，實現無極調速加減速可調。

   1.2主軸采用雙作用軸承提高軸向及徑向負載能力，間隙更小。軸端與轉盤間采用氣密封保護，隔絕外界油污及大氣污染腔體。保證圓片潔凈度。

2、工作腔

   工作腔體采用耐腐蝕的不銹鋼焊接而成，腔體、籃架、支架等采用電解拋光鈍化技術，易擦洗不生銹。

3、旋轉載體及片架結構

   3.1旋轉載體由不銹鋼轉盤和可方便更換的不銹鋼片架組成，如需更換片架，只需將片架卸下，即可更換為另一種片架。

   3.2片架采用可反轉式結構，放置花籃時將花籃翻轉到一定角度可方便的將花籃放進片架內。

   3.3該旋轉載體及片架結構不僅更換方便，而且結構簡潔，沖洗和甩干時，晶片及片盒不會留下死角。

4、層流風干法

     晶片在旋轉過程中，產生同一方向的氣流，氣流由設備門蓋上方進入至上而下的氣流方向，經由排風排水管道出。排風口在上方，排水口在下方。 氣流經由除靜電裝置及高效過濾器處理微塵，滿足顆粒度要求。

5、免沖水設計

     設備無需增加額外沖水功能，避免二次污染，加快干燥工藝時間。

6、軸系動平衡及減震系統

     硅片的生產中，降低生產過程中的碎片率是降低成本、提的重要手段。而晶片干燥過程中震動過大、減震不良是造成碎片的主要原因。我們采用的現場動平衡儀，對設備的整個軸系進行動平衡。

7、系統控制技術

     7.1控制系統采用可編程邏輯控制器，彩色液晶觸摸屏漢顯監控。可存儲多種用戶工藝菜單。同時具有密碼保護功能，用戶只有在輸入正確的密碼后才可對工藝菜單進行編輯和修改，否則只能調用已經保存工藝菜單。另外，根據用戶的反饋，增加了管理員密碼功能，以加強對工藝菜單的保護。

    7.2設備運行過程中的工藝時間、轉子速度、轉速和工作狀態以及故障信息等均在觸摸屏上顯示，使用戶對設備狀況做到一目了然。

立式甩干機SA-SV4J

該系列臥式旋轉沖洗甩干機是根據目前光電行業和半導體分立器件等產業的發展情況和市場需求研發的一種沖洗甩干設備，整機采用立式裝片結構，能夠實現包括去離心甩干、循環風干燥、故障顯示報警互鎖等功能在內的全自動處理過程。