產品介紹：

1）控制系統由PLC觸摸屏構成，故障率低，可靠性強，操作簡單，易于維護。

2）傳片方式通過皮帶傳動。

3）主軸使用高速伺服電機，帶數字顯示，精確控制轉速。

4）自主設計開發薄膜式的噴膠泵，出膠穩定，自帶回吸，保證了定量滴膠，可節省光刻膠用量。

5）設置靈活，多功能。通過一鍵設置，可將自動滴膠轉換為手動滴膠。

6）熱板控溫精確，自帶超溫保護系統，熱板均勻性好。熱板采用頂針升降，方便硅片烘烤。

                  轉速                       6000RPM

                 轉速精準度                    ≤1-4%RPM

     勻膠     滴膠手臂控制                  步進馬達       

                 滴膠頭位置精準               ≤0.2mm

該設備為全自動上下料勻膠設備，主要應用于3-5寸方形晶圓涂膠、烘干，采用標準片盒收放片，自動運行。該設備為單軌道形式，上料、涂膠、烘干、取料。