日常使用的SEM,好用!
隨著技術(shù)的不斷創(chuàng)新,觀察的樣品也越來(lái)越小,微小樣品的測(cè)定已經(jīng)常態(tài)化。 基于此,浸沒(méi)式熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡InTouchScope™系列 JSM-IT700HR誕生了。
該設(shè)備分辨率1nm、探針電流300nA(之前的15倍),可提供豐富的觀測(cè)和分析信息,用戶(hù)界面操作簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)緊湊、配備大樣品室。
■ 視頻介紹
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■ Zeromag & Autofunctions
放大光學(xué)圖像,無(wú)縫過(guò)渡到SEM圖像
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Zeromag具有將樣品臺(tái)圖像、光學(xué)像和SEM像聯(lián)動(dòng)的功能,樣品臺(tái)上有多個(gè)樣品和觀察特定區(qū)域時(shí),很容易搜尋視野。
※若顯示光學(xué)像,需要選件樣品臺(tái)導(dǎo)航系統(tǒng)SNS
■ Integrated EDS & Live Analysis
一體化EDS和實(shí)時(shí)分析
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SEM操作界面上有EDS分析操作,觀察分析無(wú)障礙。Live Analysis具有實(shí)時(shí)顯示特征X線譜圖功能。
■ SMILE VIEW™ Lab
快速生成數(shù)據(jù)報(bào)告
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JEOL的數(shù)據(jù)管理工具。 光學(xué)像、SEM像、EDS分析結(jié)果一并保存。報(bào)告書(shū)一鍵生成。
也可以離線解析※1。
※1 需要離線分析軟件 ※2 需要安裝Microsoft®Office
■ 信號(hào)深度顯示
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在操作導(dǎo)航GUI里增加了【信號(hào)深度顯示】功能,實(shí)時(shí)了解在測(cè)樣品的分析深度(參考),有效用于元素分析中。
■ 自動(dòng)電子束對(duì)中 (ABA)
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電子束的軸偏離時(shí),自動(dòng)調(diào)整對(duì)中功能
■ 用蒙太奇功能進(jìn)行廣域觀察與分析
蒙太奇結(jié)果 6x6(左:背散射電子像、右:Cu元素map像 )
樣品:黃銅螺釘?shù)钠矫婵涛g橫截面*、 加速電壓:20 kV、低真空模式 (20 Pa)、取像:6.4 mm × 4.8 mm
*機(jī)械研磨后、用IB-19530CP進(jìn)行平面刻蝕加工
蒙太奇就是一種拼接功能,能夠?qū)V域內(nèi)采集到的所有圖像拼接成一個(gè)高清圖像。此功能對(duì)于獲取大面積詳細(xì)信息非常有用。