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薄膜磁控濺射儀生產(chǎn)

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南京舜儀實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司是由南京和同創(chuàng)業(yè)科技有限責(zé)任公司變更而來(lái),擁有“舜儀”和“SAINTINS”等注冊(cè)商標(biāo)。公司致力于等離子體相關(guān)產(chǎn)品的開(kāi)發(fā),目前主要生產(chǎn)小型離子濺射和小型磁控濺射,獲得客戶廣泛認(rèn)可。隨著對(duì)行業(yè)的不斷深入,期待能夠推出更多質(zhì)優(yōu)價(jià)廉的設(shè)備,為我們的儀器行業(yè)添磚加瓦。

我們追求的目標(biāo)是為用戶提供滿意的產(chǎn)品及服務(wù),以重諾守信,嚴(yán)謹(jǐn)求實(shí),目光遠(yuǎn)大的行為為準(zhǔn)則。“舜之品,儀之質(zhì)”,對(duì)于新老客戶,我們將一如既往,恪守“服務(wù)至上”的承諾,與用戶保持長(zhǎng)期的合作,為用戶提供放心的,滿意的的產(chǎn)品。我們將憑借高效、高質(zhì)的服務(wù),高信任度的企業(yè)形象與廣大用戶共同發(fā)展!

由于(北京和同創(chuàng)業(yè)科技有限責(zé)任公司)的業(yè)務(wù)調(diào)整,原有的產(chǎn)品將逐漸由(南京舜儀實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司)承接,所有服務(wù)和承諾不變。






離子濺射儀,冷卻循環(huán)水機(jī)
JS-600M小型磁控濺射儀采用二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì),帶磁控靶頭,有水冷功能。設(shè)備操作簡(jiǎn)單方便,適用于掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。磁控濺射為冷濺射,對(duì)樣品表面的升溫較低,適用對(duì)溫度較敏感的薄膜樣品。用戶可以根據(jù)自己的需要自行選擇不同的真空條件,濺射電流。大尺寸的真空腔體設(shè)計(jì),滿足大樣品的濺射需求。
薄膜磁控濺射儀生產(chǎn) 產(chǎn)品信息

一、產(chǎn)品應(yīng)用:

JS-600M小型磁控濺射儀采用二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì),帶磁控靶頭,有水冷功能。設(shè)備操作簡(jiǎn)單方便,適用于掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。

磁控濺射為冷濺射,對(duì)樣品表面的升溫較低,適用對(duì)溫度較敏感的薄膜樣品。用戶可以根據(jù)自己的需要自行選擇不同的真空條件,濺射電流。大尺寸的真空腔體設(shè)計(jì),滿足大樣品的濺射需求。標(biāo)配一片金靶,純度為99.999%,為獲得高質(zhì)量的金膜提供了良好的基礎(chǔ)。

二、配置及技術(shù)指標(biāo):

1.本系統(tǒng)裝配了水冷卻磁控靶,靶面直徑為50mm;

2.主機(jī)規(guī)格:L360mm*W300mm*H380mm;

3.靶(上部電極):金:直徑:50mm,厚度:0.1mm;

4.真空樣品室:直徑:160mm,高:110mm;

5.濺射面積:Ф50mm;

6.工作真空:2×10-1—6×10-2 mbar;

7.離子電流表:0-100mA;

8.定時(shí)器:根據(jù)濺射習(xí)慣設(shè)定單次濺射時(shí)間;

9.針閥: 配有進(jìn)氣口,微量充氣調(diào)節(jié),可連接φ4*2.5mm軟管;

10.工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣等多種氣體;

11.濺射電壓:-1600 DCV;

12.飛躍真空泵(VRD-4):1.1L/S。

三、產(chǎn)品特點(diǎn):

1.輕便、濺射面積大;

2.可以濺射鉑、金、銀及氧化鋅;

3.濺射效率高,可水冷降溫;

備注:JS-600M小型磁控濺射儀可適用的靶材:金、鉑、銀。



關(guān)鍵詞:電子顯微鏡 真空泵
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