JS-1600小型離子濺射儀采用二極（DC）直流濺射原理設(shè)計，操作簡單方便，適用于掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備,非導(dǎo)體材料實驗電極的制作。
用戶可以根據(jù)自己的需要自行選擇不同的真空條件，濺射電流。大尺寸的真空腔體設(shè)計，滿足大樣品的濺射需求。標(biāo)配一片金靶，純度為99.999%，為獲得高質(zhì)量的金膜提供了好的基礎(chǔ)。
JS-1600小型離子濺射儀主要技術(shù)指標(biāo)如下：
1.靶（上部電極）：材料：金，直徑：50mm，厚度：0.1mm 純度：99.999%
2、真空室：直徑：160mm，高：120mm
3.樣品臺（下部電極）：濺射面積：直徑：50mm
4．工作真空： 8×10-2—2×10-1 mbar
5.離子電流表：50mA
6.數(shù)顯計時器：根據(jù)濺射習(xí)慣設(shè)定單次濺射時間。
7.電壓：-1600DVC
8.機械泵:2升/每秒
9.工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，
10．微型真空氣閥： 配有氬氣專用進氣口和微量充氣調(diào)節(jié)，可連接φ3mm軟管。
11. 外型尺寸：360mm×300mm×380mm
備注：JS-600小型離子濺射儀可適用的靶材：金、鉑、銀及氧化鋅
