主要規格
観察方法
光切斷方式(利用狹縫光學系統測定深度高度)
■物鏡
固定倍率10倍(5倍、20倍)
軸駆動方式
基于點光的AF連續追蹤方式(離線時可手動測量)
投射縫隙
10um半反光鏡型
Z軸測量
Z軸數字線性儀表0.1閱讀
重復精度
~1微米以內
使用光源
半導體激光器(類2)、鹵素光源
自動捕捉表示截面形狀的細狹縫光、紅色激光斑點、階梯差的變化，Z
軸功能迅速跟隨，進行測定數值的數字顯示(自動聚焦)·系統)功能
與電子線方式的基準線相結合，擴大了測量范圍，提高了利用價值，是
新型的深度高度測量機。
