GEMS捷邁2200/2600系列潛水式傳感器GEMS捷邁2200/2600系列潛水式傳感器
潛水式傳感器 結合*的電子電路與*的CVD技術打造各種船用壓力傳感器。 目前壓力傳感器在船舶行業中執 行各種任務，在極其苛刻的工況 下可靠運行。從燃料箱、液壓系 統儲罐和溢水報警系統到艙底、 飲用水儲水箱及冷卻系統，船用 傳感器都能*可靠地工作，應 對從泵機和閥門產生的液壓峰值 到溫度、機械沖擊和振動等 一切工況。 壓力傳感器能否在各種船舶工況 下可靠精確運行的關鍵因素是傳 感器膜片和電子封裝的結構方 式。如今的傳感器將*的化學氣相沉積技術與ASIC電路結合在一起，實現強大的功能。這些裝置 具有外形緊湊、精度高、遲滯好等特性，工作壽命超過數百萬次并可高效地制成潛水版本。 在我們揭開背后隱藏的奧秘之前，不妨先認識一下這些裝置的工作原理和應用。壓力傳感器的作用是 將壓力（通常為液體或氣體壓力）轉換為電信號以連續輸出到控制系統來提供精確的壓力狀態，使之 可以采取相應的控制。例如，壓力逐漸降低可能會觸發一系列逐步升級的報警信號，從而允許控制系 統在達到終的液位前采取適當的措施，觸發自動關閉。 在船舶應用中，壓力傳感器無處不在并經受著各種惡劣工況的考驗，例如湍流液體、含雜質液體、海 水、中間液相、高溫環境及高壓液體。在推進單元和齒輪箱等設備中，是否使用傳感器對機油、溫度 和離合器壓力進行監測和管理會對性能和總效率造成深遠影響。 濺射薄膜技術 化學氣相沉積 (CVD) 電纜 導線管 大型DIN 壓力傳感器內部包含一個細薄的密封傳感元件（又稱為膜片）與壓力 介質直接接觸。膜片上的應變片在壓力的作用下發生壓縮或拉伸形 變，產生與加載壓力或真空度成比例的輸出電信號。該傳感器輸出與 板載電子電路相連，整體置于一個緊湊、密封的不銹鋼外殼之中。 濺射薄膜技術從作為一種制造工藝引入集成電路生產起發展至今已有 30多年，其原理是利用帶電粒子轟擊固態靶標材料釋放出原子，使之 沉積在傳感結構上形成薄膜，進而形成一定的傳感器圖案。在制造過 程中應用濺射薄膜涂層技術生產的傳感器靈敏而堅固，適合與幾乎所 這些裝置即使在船體*存在振動的情況下仍能持續提供準確讀數， 這一點在了解它們的靈敏度和測量精度后尤其令人印象深刻。壓力傳 感器的機械結構由多種材料制成，其輸出信號特別易受海洋溫度 和振動影響。不過，當前市場嶺先廠家都已成功克服了這些挑戰，紛 紛推出了超高性能的產品。 *傳感器之所以獲得成功歸功于三個因素：濺射薄膜技術、化學氣 相沉積 (CVD) 技術以及ASIC（特定用途集成電路）電子封裝。只有將 這些機械電子技術成功地結合在一起，才能使壓力傳感器具備如此精 確可靠的性能。 化學氣相沉積 (CVD) 技術是另一種高效的壓力傳感器制造方法， 所形成的產品具有精度高、遲滯性好的特點。CVD傳感器使用 多晶硅沉積在不銹鋼基板上，然后化學研磨出應變片圖案，在晶 圓上實現大批量生產，所以也是一種經濟的制造方法。晶圓然后 被切割成單個傳感器梁，后者激光焊接到不銹鋼加總膜片和壓力 端口上，后與內部信號調節和放大電路相連。這種工藝不僅提 高元件的精度和耐受性，而且還能通過大批量生產來降低單位成 本。 有液體、油和氣體直接接觸，由此所帶來的應用靈活性已成為壓力傳感器的一大優勢。
