FPM
(Fluoro Carbon Rubber) 分子內含氟之橡膠,依氟含量 ( 即單體構造 ) 而有各式類型。耐高溫性比硅橡膠優,有比較好的耐化學、耐大部分油及溶劑 ( 酮、酯類除外 ) 、耐候性及耐臭氧性;耐寒性則較一般,一般使用溫度范圍為 -20~250 ℃。部分配方可耐低溫至 -40 ℃。
優點:
· 可抗熱至 250 ℃
· 對于大部份油品及溶劑都具有抗性的能力,尤在酸類、脂族烴、芳香烴及動植物油
缺點:
· 不建議使用于酮類,低分子量的酯類及含硝的混合物。
· 汽車、機車、柴油發動機及燃料系統。
適用范圍:
· 化工廠的密封件。
(Perfluoroelastomer) 優點:
· 耐熱特性
· 化學特性
· 低Outgassing 特性
· 抗Plasma特性
適用范圍:
· 全氟系列產品地運用于半導體產業及信息相關產業所運用, 運用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各式高真空密封制程。