Low Temperature Chillers半導體冷水機
本設備性能優異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據需求定制，控制精度可達±0.05℃，適用于溫濕度控制良好的環境，具有定時運轉、溫度補償、實現自我診斷等功能，且可實現過熱、過載、缺水等多重報警功能，遠程控制方便，可以實現RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。
Low Temperature Chillers半導體冷水機
應用于半導體行業蝕刻裝置，CMP (工藝機械拋光)，實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。
溫控精度（空載時）±0.05℃
觸摸屏操作，人機交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能
溫度波動小
占地面積小、保護裝置
快速升溫/降溫、提高生產效率、降低運營成本和保障生產
運行穩定、準確控溫
可用選項
省空間、省配線、省配管、省工時、雙變頻型更節能。
可對應溫度穩定性（空載時）±0.05℃。
循環液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去離子水(純水)
冷卻方式：水冷式
應用于半導體行業蝕刻裝置，CMP (工藝機械拋光)，實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。
溫控精度（空載時）±0.05℃
觸摸屏操作，人機交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能
溫度波動小
占地面積小、保護裝置
快速升溫/降溫、提高生產效率、降低運營成本和保障生產
運行穩定、準確控溫
可用選項
省空間、省配線、省配管、省工時、雙變頻型更節能。
可對應溫度穩定性（空載時）±0.05℃。
循環液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去離子水(純水)
冷卻方式：水冷式
