zonglen高低溫晶圓盤Thermo Chuck ATC-860
晶圓盤系統(tǒng)用于半導(dǎo)體晶圓的表征測(cè)試、建模、工藝開發(fā)、設(shè)計(jì)調(diào)試,去BUG或IC故障分析,具有所有主要分析探針臺(tái)集成所需的性能和多功能性。
zonglen高低溫晶圓盤Thermo Chuck ATC-860
對(duì)于要求快速溫度變化的分析和生產(chǎn)測(cè)試應(yīng)用,降溫和加熱時(shí)間對(duì)晶圓測(cè)試尤為重要。溫度轉(zhuǎn)換率比基于水或空氣的傳統(tǒng)系統(tǒng)要快得多。
主要特點(diǎn):
· 低噪音
· 溫度范圍為-60°C至+175°C,
· 快速冷卻/加熱速率高達(dá)25°C/min
· 不需要LN2、CO2,減少成本
· 不需要在配置冷水機(jī)
· 溫度穩(wěn)定性±1°C
· 體積小,便于集成
· 免維護(hù)
應(yīng)用程序:
· 探針臺(tái)
· 冷熱平臺(tái)
· 低輪廓器件,表面平坦器件的表征測(cè)試
· 功率器件的晶圓測(cè)試
聚焦超低溫,低溫,環(huán)境模擬,可靠性輔助測(cè)試解決方案
超過(guò)15年行業(yè)技術(shù)沉淀,掌握核心技術(shù)
多項(xiàng)技術(shù),細(xì)分領(lǐng)域獨(dú)角獸
持續(xù)的創(chuàng)新產(chǎn)品和服務(wù),為客戶提供更加滿意的體驗(yàn)
速度:1小時(shí)內(nèi)響應(yīng),24小時(shí)內(nèi)提供實(shí)施方案。
維修:原廠標(biāo)準(zhǔn)服務(wù)。
料件:原廠品牌料件。
保障:提供交換式維修。
信息:設(shè)備檔案更新與備份,做客戶設(shè)備的管家。
(頁(yè)面價(jià)格供參考,具體請(qǐng)聯(lián)系報(bào)價(jià))